ফ্যাব ফ্লোরে কাজ করার সময় ছোটখাটো বিষয়গুলো নিয়েও চিন্তা করতে হয়। সফট বেকিংয়ের সময় ০.১°C-এরও কম তাপমাত্রার পরিবর্তন হলে ওয়েফারগুলোর গুণমান ক্ষতিগ্রস্ত হয়। ঐতিহ্যবাহী হট প্লেটগুলো তাপীয় অস্থিরতার বিরুদ্ধে লড়াই করে; কিন্তু NIR ওয়েফার ড্রায়ারগুলো তা করে না।
আমরা কী তৈরি করেছি, এবং এর গুরুত্ব কী?
আমরা NIR ড্রায়ারটি নিয়ার-ইনফ্রারেড রেডিয়েন্ট হিটিং পদ্ধতির মাধ্যমে তৈরি করেছি। এর ফলে শক্তি সরাসরি ফটোরেসিস্ট স্তরে পৌঁছায়; ফলে ওয়েফারগুলোর তাপমাত্রা ±০.১°C-এর মধ্যে থাকে। এর ফলে প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণে থাকে। এটি ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুমে কাজ করে; এখানে কোনো ধূলিকণা তৈরি হয় না। এটি ২৪/৭ কাজ করতে পারে; পাইলট রানে কোনো অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার ঘটনা ঘটে না। এর সার্ভিস লাইফ হাজার হাজার সাইকেল পর্যন্ত হয়।
কেন এটি লিথোগ্রাফির জন্য উপযুক্ত?
লিথোগ্রাফিতে সফট বেকিং ও হার্ড বেকিংয়ের মাধ্যমে ফটোরেসিস্টের ঘনত্ব নির্ধারিত হয়, দ্রবণগুলো বেরিয়ে যায়, এবং ওয়েফারের পার্শ্বভাগের গঠন নির্ধারিত হয়। NIR ড্রায়ারের মাধ্যমে ওয়েফারের পৃষ্ঠের তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে। প্রথম লট থেকে পঞ্চাশতম লট পর্যন্ত তাপীয় অবস্থা একই থাকে। এর ফলে কম সময়েই বেকিং সম্পন্ন হয়; শক্তি খরচও কম হয়। তাপীয় অস্থিরতার কারণে ওয়েফারগুলো নষ্ট হওয়ার ঝুঁকিও কম থাকে। প্রক্রিয়াটি আরও সহজ হয়ে যায়।
কী বিষয়গুলো বিবেচনা করা দরকার?
NIR ড্রায়ারের জন্য ওয়েফারের সাথে সরাসরি দৃষ্টিসংযোগ প্রয়োজন; আর প্রতিফলনকারী পথটিও নিয়ন্ত্রিত হওয়া উচিত। স্ট্যাকড ক্যারিয়ার বা অ-স্ট্যান্ডার্ড চাকগুলো ওয়েফারকে ছায়ায় ফেলতে পারে। তাই একটি বিশেষ ফিক্সচার ব্যবহার করা উচিত; এবং এটিকে ঠিকভাবে সাজানো উচিত। একবার সাজানো হলে, ড্রায়ারটি কম রক্ষণাবেক্ষণের মাধ্যমেই কাজ করতে পারে। কিন্তু এর সেটআপ টলারেন্স কন্টাক্ট-ভিত্তিক সিস্টেমের তুলনায় কঠোর।