
আর অপেক্ষা করবেন না! কেন IR হিটিং সেমি-প্রসেসিংয়ে সেরা বিকল্প?
যদি আপনি এখনও সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিংয়ে ফোর্সড এয়ার ব্যবহার করছেন, তাহলে আপনি প্রতিদিনই “সময়ের কর” দিচ্ছেন।
ফোর্সড এয়ার কীভাবে কাজ করে তা ভাবুন। আপনি বাতাসকে উত্তপ্ত করেন; আর আশা করেন যে সেই বাতাসটি ওয়েফারকে উত্তপ্ত করবে। এটা খুবই ধীর প্রক্রিয়া। এখানে বিলম্ব থাকে। এটা যেন হলওয়ের ওপার থেকে স্পেস হিটার দিয়ে ঘরটিকে উত্তপ্ত করার চেষ্টা।
IR হিটিংয়ে মধ্যবর্তী প্রক্রিয়াগুলো বাদ পড়ে যায়। এটা ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক রেডিয়েশন ব্যবহার করে সরাসরি শিল্ডে শক্তি সরবরাহ করে। বাতাস উত্তপ্ত হওয়ার জন্য অপেক্ষা করার দরকার নেই।
গতির পার্থক্য অবিশ্বাস্য।
ফোর্সড এয়ার ব্যবহার করলে থার্মাল ইনার্শিয়ার সাথে লড়তে হয়। বড় পরিমাণে বাতাসের তাপমাত্রা পরিবর্তন করতে অনেক সময় লাগে—সাধারণত মিনিটখানেক। কিন্তু IR ল্যাম্পগুলো কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই কাজ সম্পন্ন করে।
এখানেই র্যাপিড থার্মাল প্রসেসিং (RTP)-এর গুরুত্ব প্রকাশ পায়। যদি আপনার প্রক্রিয়ায় প্রতি সেকেন্ডে ১০০°C তাপমাত্রা বাড়ানোর প্রয়োজন হয়, তাহলে কনভেকশন পদ্ধতি দিয়ে তা সম্ভব নয়। কিন্তু IR পদ্ধতিতে এটা সম্ভব। তাৎক্ষণিকভাবেই।
কিন্তু এখানে একটি সমস্যা রয়েছে: যখন কিছু এত দ্রুত ঘটে, তখন সাবধান থাকতে হয়।
কারণ IR খুবই শক্তিশালী; তাই লক্ষ্য তাপমাত্রার চেয়ে বেশি তাপ সৃষ্টি হয়ে যেতে পারে। এখানে “যথেষ্ট কাছাকাছি” থাকাই যথেষ্ট নয়। আপনার উচ্চ-গতির থার্মোকাপল দরকার—সাধারণত K-টাইপ বা প্ল্যাটিনাম-রোডিয়াম। আর এগুলোকে ওয়েফারের পৃষ্ঠের ঠিক কাছে রাখতে হয়।
সেন্সরগুলোকে হালকা হতে হয়। যদি সেন্সরটি খুব বড় হয়, তাহলে তা নিজেই বিলম্ব সৃষ্টি করবে। কন্ট্রোলার যখন বুঝতে পারবে যে তাপমাত্রা বেড়ে গেছে, ততক্ষণে আপনার ওয়েফারটি নষ্ট হয়ে যাবে।
তবে এটা কোনো জাদু নয়। এর কিছু অসুবিধাও রয়েছে।
IR হলো দিকনির্দেশক ব্যবস্থা। যদিও ফোর্সড এয়ার চেম্বারের সমস্ত জায়গায় সমানভাবে তাপ ছড়ায়, কিন্তু IR ক্ষেত্রে যদি ল্যাম্পগুলো ঠিকভাবে সাজানো না হয়, তাহলে “হট স্পট” তৈরি হয়ে যেতে পারে। তাই আপনাকে অবশ্যই সাবধান থাকতে হবে।
আর তাপের চাপও একটি সমস্যা। উচ্চ-ওয়াটেজের IR ল্যাম্পগুলো প্রচুর পরিমাণে শক্তি উৎপন্ন করে। যদি আপনার কুলিং সিস্টেম যথাযথ না হয়, তাহলে আপনার ইলেকট্রনিক যন্ত্রগুলো নষ্ট হয়ে যাবে।
তবুও, যারা দ্রুত বেশি সংখ্যক ওয়েফার প্রক্রিয়া করতে চান, তাদের জন্য এটাই সেরা বিকল্প। ২০ মিনিটের কাজটি মাত্র ৩০ সেকেন্ডেই সম্পন্ন হয়ে যায়।