Auf der Lithografiefläche wird durch das Weichbrennen und Hartbrennen das Profil des Fotorezysts festgelegt. Wenn die Temperatur um auch nur zwei Grad abweicht, entstehen Unregelmäßigkeiten im Bild. Die Wärmequelle muss zur Chemie des Fotorezysts passen – es darf weder zu hohe noch zu niedrige Temperaturen geben. Immer muss das ideale thermische Profil eingehalten werden.
Was wirklich wichtig ist: Wir verwenden Infrarotlampen, die kurzwellige Energie abgeben – diese Energie ist auf die Absorptionsfähigkeit des Fotorezysts abgestimmt. Die spektrale Ausstrahlung liegt genau dort, wo der Fotorezyst am empfindlichsten reagiert. Auf der Brennfläche bleibt die Temperatur konstant bei ±0,1°C. Die Genauigkeit der Einstellung bleibt außerdem bei ±0,5°C von Charge zu Charge. Die Geometrie des Quarzkorpusses und des Reflektors sorgt dafür, dass möglichst wenige Partikel entstehen. Das System ist für Reinraumbedingungen der Klasse 1–100 geeignet. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei die Intensitätsabweichung unter 5% liegt.
Warum funktioniert das in der Produktion? Die Lampen arbeiten 24/7 ohne Unterbrechungen – dadurch bleibt das Prozessfenster für den Fotorezyst stabil. Sie erreichen die gewünschte Temperatur innerhalb von Sekunden und halten sie konstant – dadurch wird der Energieverbrauch reduziert. Dadurch entstehen weniger Ausschusswaren und weniger Nacharbeiten. Zudem lässt sich die Linienbreite präzise steuern. Da das thermische Profil konsistent bleibt, ist die Qualifizierung schneller und die Prozessübertragung reproduzierbar.
Ein paar praktische Hinweise: Bei der Installation muss die Lampe an die Spannung, die Anschlüsse sowie die Abmessungen des Geräts angepasst werden. Die Ausstrahlungsintensität hängt vom Abstand zwischen Lampe und Substrat ab – daher geben wir Toleranzen an und empfehlen eine regelmäßige Kalibrierung des Pyrometers. Bei Fotorezysten für tiefes UV-Licht sollte man mit dem Lieferanten die spektrale Übereinstimmung überprüfen – einige Formulierungen benötigen einen engeren Spektralbereich. Planen Sie bereits im Voraus die Kühlung sowie die Abführung von Störströmen – so bleiben die Partikelzahl sowie die Störungen innerhalb der zulässigen Grenzen.