Hören Sie auf, Energie zu verschwenden, indem Sie die Luft in Ihrem Reinraum erwärmen!
Wenn Sie schon einmal Zeit in einem Halbleiter-Reinraum verbracht haben, wissen Sie, wie schwierig es ist, die Wafern bei der richtigen Temperatur zu halten – insbesondere, wenn man sie bewegt. Es handelt sich dabei um einen ständigen Kampf gegen den Wärmeverlust.
Die meisten Menschen verwenden konventionelle Heizgeräte – doch das Problem ist: Sie verbringen die Hälfte ihrer Zeit damit, die Luft um die Wafer herum zu erwärmen. Das ist eine enorme Verschwendung von Energie und belastet außerdem den Kohlenstofffußabdruck erheblich.
Wir haben beschlossen, nicht mehr gegen die Luft anzukämpfen, sondern stattdessen direkt die Wafer selbst zu heizen. Deshalb verwenden wir kurzwellige Infrarot-Heizsysteme auf unseren Transportwagen.
Wie es eigentlich funktioniert:
Stellen Sie sich das wie die Sonne vor: Infrarot-Heizgeräte kümmern sich nicht um Luftströmungen. Sie senden elektromagnetische Strahlung aus, die direkt auf den Wafer trifft und sofort in Wärme umgewandelt wird. Da es sich um eine direkte Beheizung handelt, muss die Temperatur des gesamten Raumes nicht erhöht werden, um die Wafer warm zu halten. Als wir die Kraftbelüftung durch Infrarot-Heizung ersetzt haben, war der Energieverbrauch pro Wafer deutlich geringer.
Praktische Umsetzung:
Platz ist in einem Reinraum-Transportwagen ein Luxus. Man kann schließlich keinen riesigen Heizer dort platzieren. Um alles kompakt zu halten, verwenden wir Quarzlampen mit hoher Leistungsdichte. So erhalten Sie die benötigte Wärme, ohne dass sperrige Geräte im Weg sind. Wir verwenden außerdem Halogenlampen, damit die Wärme über längere Zeit konstant bleibt. Zudem versehen wir die Gläser mit speziellen Beschichtungen – dadurch geht die Wärme direkt an den Wafer weiter, anstatt den Rahmen des Transportwagens zu erhitzen.
Herausforderungen – und wie man sie meistert:
Es ist zwar nicht alles perfekt – es gibt einige Dinge, auf die man achten muss. Infrarot-Lampen gehen innerhalb von Sekunden in Betrieb. Das ist zwar gut für die Produktivität, doch es belastet den Stromkreis stark. Wenn die Verkabelung des Transportwagens zu dünn ist, kommt es zu Spannungsabfällen. Dadurch wird die Temperaturregulierung beeinträchtigt. Stellen Sie sicher, dass Ihr Stromkreis diese Belastungen aushalten kann.
Außerdem muss man sich um die Wartung kümmern. Lampen gehen irgendwann kaputt – ihr Austausch ist eine mühsame Aufgabe. Niemand möchte vier Stunden damit verbringen, einen Transportwagen zu reinigen, nur weil eine Lampe kaputtgegangen ist. Wir haben dieses Problem mit Schnellanschlussterminals gelöst. So können Ihre Techniker die Lampen schnell austauschen, damit die Produktion weiterläuft und die Energieeinsparungen bestehen bleiben.