
¿Por qué estamos dejando de usar el aire caliente en el procesamiento de semiconductores?
La mayoría de las líneas de producción de semiconductores todavía utilizan el aire caliente para secar y curar los materiales. Es un método anticuado, y, honestamente, es frustrante.
El aire es un muy mal conductor de calor. Para alcanzar la temperatura adecuada en una oblea, hay que calentar toda la cámara. Es como tratar de calentar un solo grano de guisante calentando toda la cocina. Esto desperdicia mucha energía y ralentiza todo el proceso.
El tiempo apremia
Aquí es donde entra en juego la radiación infrarroja. En lugar de depender de un medio como el aire, la radiación infrarroja envía energía directamente al sustrato.
Es rápido. Muy rápido.
No hay necesidad de esperar a que un ventilador mueva el aire caliente sobre la superficie. Los fotones impactan en el material, las moléculas comienzan a vibrar y la oblea llega a la temperatura deseada casi al instante.
En los procesos complejos, esto es una solución revolucionaria. Si actualmente se necesita un ciclo de 10 minutos en un horno convencional, con la tecnología de radiación infrarroja ese tiempo puede reducirse a pocos segundos.
Más espacio, menos desorden
Al no utilizar aire caliente, se puede reducir el tamaño de los equipos. Ya no se necesitan esos soplantes enormes ni esos conductos aislados. Las máquinas se vuelven más pequeñas, lo que significa más espacio en el suelo.
Además, se puede controlar con precisión la temperatura en zonas específicas de la oblea, sin calentar el resto de la cámara.
Las limitaciones
Pero la radiación infrarroja no es una solución mágica. Solo funciona si puede “ver” el punto objetivo.
Si las piezas tienen formas extrañas o agujeros profundos, la radiación no llegará a esos lugares. Todavía será necesario utilizar algún tipo de calor ambiental o un mecanismo de rotación para asegurarse de que toda la superficie reciba la misma cantidad de calor.
Y una advertencia: las lámparas de radiación infrarroja de alta intensidad generan mucho calor. Si no se controla bien el enfriamiento y la protección, los sensores y los cables pueden dañarse rápidamente.
Pero si el tiempo de procesamiento es el principal obstáculo, la radiación infrarroja es la solución ideal. Convierte un proceso lento y tedioso en uno rápido y preciso.