Deje de desperdiciar energía calentando el aire en su sala limpia
Si ha estado en alguna sala limpia para semiconductores, conocerá bien los problemas que esto conlleva. Tratar de mantener las obleas a la temperatura adecuada mientras se mueven de un lugar a otro es, en realidad, una lucha constante contra la pérdida de calor.
La mayoría de las personas utilizan calentadores por convección, pero aquí está el problema: pasan la mitad del tiempo calentando el aire que rodea a las obleas. Es un gran desperdicio de energía y afecta negativamente al consumo de energía total.
Decidimos dejar de luchar contra el aire y concentrarnos en calentar directamente las obleas. Por eso utilizamos sistemas de infrarrojos de onda corta en nuestros carros de transporte.
Cómo funciona realmente
Imagínelo como el sol. Los calentadores por infrarrojos no se preocupan por las corrientes de aire. Emiten radiación electromagnética que impacta directamente en las obleas, convirtiéndose inmediatamente en calor.
Dado que el calor se transmite de manera directa, no es necesario elevar la temperatura de toda la sala para mantener calientes las piezas. Cuando reemplazamos los calentadores por aire por calentadores por infrarrojos, la reducción en el consumo de energía por oblea fue notable.
Adaptación al espacio limitado
El espacio es un recurso valioso en los carros de transporte de salas limpias. No se puede simplemente colocar un calentador enorme allí.
Para mantener todo compacto, utilizamos lámparas de cuarzo de alta densidad energética. De esta manera, se obtiene todo el calor necesario sin que el equipo voluminoso interfiera. También utilizamos lámparas llenas de halógeno para que el calor permanezca constante con el tiempo. Además, aplicamos recubrimientos especiales en el vidrio, lo que asegura que el calor llegue directamente a las obleas, en lugar de calentar el propio carro.
Problemas y cómo solucionarlos
No todo es perfecto. Hay algunos aspectos a los que hay que prestar atención.
Las lámparas por infrarrojos se encienden en segundos. Eso es bueno para la eficiencia, pero también supone una carga grande para el suministro de energía en ese momento.
Si los cables del carro son demasiado delgados, habrá caídas de voltaje. Eso complica las cosas, ya que la uniformidad de la temperatura se pierde. Asegúrese de que su sistema eléctrico pueda soportar esa carga inicial.
También está el problema del mantenimiento. Las lámparas se agotan con el tiempo, y reemplazarlas requiere trabajo manual. Nadie quiere pasar cuatro horas limpiando un carro solo porque una lámpara se rompió.
Solucionamos esto con terminales de conexión rápida. Los técnicos pueden reemplazar las lámparas rápidamente, manteniendo así la eficiencia y ahorrando energía.