در خط تولید، خطوط تولید هرگز در انتظار نمیمانند. دستگاههای لیتوگرافی به صورت پشت سر هم کار میکنند؛ اگر دمای فرآیند تولید کمی تغییر کند، کنترل ابعاد مهم محصولات دچار مشکل میشود. تغییرات دمایی مشکلی ساده نیست؛ بلکه منجر به تولید محصولات با کیفیت پایین، نیاز به تعمیرات مجدد، و کاهش ظرفیت تولید میشود.
آنچه در پشت صحنه اهمیت دارد
ما دستگاههای تولید ویفر را با استفاده از سیستمهای گرمایشی مبتنی بر مادون قرمز و ساختار حرارتی مبتنی بر کوارتز طراحی کردهایم؛ این سیستمها باعث میشوند که دمای سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. همین دقت بالا باعث میشود جریان فوتورزیست متناوب باشد و عرض خطوط تولید نیز پایدار بماند. این سیستم در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ کار میکند؛ در این اتاقها هیچ ذره آلایندهای وجود ندارد. ما عمر دستگاهها را به صورت ساعتی اندازهگیری میکنیم؛ دستگاهها معمولاً تا ۵٬۰۰۰ ساعت کار میکنند، بدون اینکه کیفیت تولید تحت تأثیر قرار بگیرد.
چرا این سیستم در تولید واقعی موفق عمل میکند
در تولید ویفرهای با تنوع بالا، نیاز به قابلیت تکرارپذیری حرارتی وجود دارد؛ این سیستم باعث میشود دمای فرآیند تولید در هر شیفت یکسان باقی بماند. در نتیجه، خطاهای ناشی از تغییرات دمایی کاهش مییابد، زمان تولید نیز ثابت میماند. رفتار سریع و کنترلشده سیستم در رسیدن به دمای مورد نظر، باعث کاهش مصرف انرژی میشود؛ همچنین، زمان طولانی خدمت این سیستم، نیاز به تعمیرات پیشگیرانه را کاهش میدهد.
چه چیزهایی برای نصب صحیح ضروری است
نصب این سیستم ساده است، اما باید از رابط حرارتی آن به عنوان یک نقطه کنترلی مهم در نظر گرفت. باید ابعاد دستگاه گرمایشی را با دقت بررسی کرد، همچنین باید از سیمها و کابلهای مناسب برای کار در اتاقهای تمیز استفاده کرد. پس از نصب، باید PID سیستم را تنظیم کرد؛ همچنین، هنگام تغییر فرآیند تولید، نباید از بررسی اتصالات حرارتی غفلت کرد؛ این کار باعث میشود قابلیت تکرارپذیری سیستم در واقعیت نیز محقق شود.