در خط لیتوگرافی، یک پخت نرم که حتی نیم درجه انحراف داشته باشد، کافی است تا منحنی CD شما را تغییر دهد و یک ساعت از شروعهای ویفر را بسوزاند. ما چراغ خشککننده کاتالیزور پیل سوختی را ساختیم تا این نوسان را از بودجه حرارتی حذف کنیم. این چراغ حرارت خشک و سریع را در باند نزدیک به مادون قرمز (NIR) که با جذب فوتورزیست همراستا است، میتاباند، بنابراین جداسازی حلال به صورت تکرارشونده انجام میشود بدون اینکه حرارت بیش از حد اعمال شود.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
چراغ روی باند باریک NIR برای گرمادهی حجمی و سریع کار میکند. این بدان معناست که سطح و حجم فوتورزیست به صورت همزمان گرم میشوند—تاخیر حرارتی کمتر، شیب حرارتی کمتر. یکنواختی در سطح ویفر در محدوده ±0.1°C در سراسر میدان نوردهی حفظ میشود و تکرارپذیری دما در هر چرخه ثابت باقی میماند. انتشاردهنده در مجموعهای از کوارتز نصب شده که برای اتاقهای تمیز کلاس 1–100 ساخته شده و تولید ذرات صفر در محل تأیید شده است. پایداری خروجی کمتر از 3% انحراف در طول 5,000 ساعت است که با برنامههای 24/7 کارخانه سازگار است.
علت ماندگاری این چراغ در فرآیند فوتورزیست این است که برای پخت نرم و پخت سخت، چه روز و چه شب، از هر دسته، به پروفایل دمایی یکسان نیاز دارید. این چراغ سریع به دمای تنظیم شده میرسد، آن را به صورت پاک نگه میدارد و بدون مشکل پایین میآید—تعداد بازکارها کمتر، بازدهی بهتر در نودهای حساس. پروفایل حرارتی تمیز همچنین با عدم انتشار حرارت اضافی به قطعات و خروجی، انرژی مصرفی به ازای هر ویفر را کاهش میدهد.
در بخش بستهبندی، این مسئله به معنای کاهش تعداد پختهای مجدد و چسبندگی یکنواختتر پیش از اتصال سیم است.
چند نکته برای در نظر گرفتن: نصب این چراغ به تطبیق آن با هندسه محفظه و شرایط تجهیزات کارخانه شما نیاز دارد—ولتاژ، آمپراژ، جریان خنککننده و سیستم تهویه. شدت خروجی برای فوتورزیست تنظیم شده است؛ مواد دیگر ممکن است به پروفایل NIR متفاوت نیاز داشته باشند.
یک دوره راهاندازی کوتاه برنامهریزی کنید تا دستورالعمل مطابق با لایهبندی فیلم شما تثبیت شود. پس از آن، فرآیند با بازرسی و کالیبراسیون دورهای چراغ، تکرارشونده باقی میماند.