در یک خط تولید با طول ۳۰۰ میلیمتر، اختلاف دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد در حین فرآیند پختن فوتورزیست، نه تنها در نمودارها مشخص میشود، بلکه باعث تغییر ابعاد مهم قطعات به میزان چند نانومتر میگردد. این اختلافات دمایی، مستقیماً منجر به کاهش بازده تولید میشود. در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش فوتورزیست، دما صرفاً یک پارامتر فرعی نیست؛ بلکه خود بخش مهمی از فرآیند تولید است.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: ما سیستم گرمایشی را بر اساس عناصر گرمایشی کوارتزی بدون هالوژن و تنظیمشده برای دمای یکنواخت در سطح ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، طراحی کردهایم. قابلیت تکرارپذیری این فرآیند نیز در حدود ±۰.۲ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین حتی در شرایط متغیر محیطی، پروفایلهای گرمایشی ثابت باقی میمانند.
این سیستم با استانداردهای اتاقهای تمیز از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ سازگار است؛ مواد و سیستمهای مربوط به آن نیز به گونهای انتخاب شدهاند که در طول فعالیت، تولید ذرات در سیستم صفر باشد. معیار واقعی قابلیت اطمینان، مدت زمان کاری بدون وقفه است؛ یعنی ۲۴/۷ کار کردن بدون هیچ وقفهای، همراه با سیستمهای تشخیصی که پیری لامپها و اختلافات دمایی را قبل از اینکه بر ویفر تأثیر بگذارند، شناسایی میکنند.
چرا این سیستم در تولید واقعی مفید است: بودجه گرمایشی به طور مستقیم با عملکرد فوتورزیست در ارتباط است؛ جریان فوتورزیست، حذف مواد حلکننده و چسبندگی آن، همگی به استابیلیت دمایی بستگی دارند. یکنواختی بالاتر، باعث کاهش نقصهای موجود در لبههای ویفر و کنترل بهتر ابعاد ویفر میشود؛ این امر باعث کاهش زمان لازم برای تستها و کاهش میزان مواد بیکاربرد میشود.
کنترل سریع دما و عملکرد پایدار، مصرف انرژی را کاهش داده و باعث طولانیتر شدن زمان نگهداری سیستم میشود. در نتیجه، خروجی پیشبینیپذیری خواهد داشت: پروفایلهای گرمایشی یکنواخت، ویژگیهای قابل تکرار فیلم تشکیل شده، و کمترین تغییراتی که مستلزم توقف فرآیند تولید باشد.
آنچه باید برای آن برنامهریزی کنید: این دستگاهها قابل استفاده مستقیم نیستند؛ برای حفظ استابیلیت دما، به یک منبع تغذیه مخصوص و سیستمهای کنترل EMI نیاز دارند. همچنین، باید این دستگاهها با محیط خاص محفظه تولید و سیستمهای مربوط به آن سازگار باشند.
باید زمان کافی برای تنظیم پروفایلهای گرمایشی در نظر گرفته شود؛ پس از این کار، سیستم قادر به ارائه نتایج پایدار خواهد بود… البته به شرطی که اتصالات و سیستمهای مربوطه نیز با دقت مناسبی نصب شوند.