در فرآیند لیتوگرافی، مرحله حرارتدهی، توقفی در فرآیند تولید نیست؛ بلکه یک مرز مشخص برای کنترل دما است. رفتار فوتورزیست تحت تأثیر دما قرار دارد؛ هرگونه تغییر جزئی در دما میتواند باعث ایجاد خطاهایی در عرض خطوط چاپ شده شود که تا زمان آزمایش الکتریکی قابل تشخیص نخواهد بود. در کارخانههایی که به تولید انبوه میپردازند، این موضوع منجر به اتلاف مواد و نیاز به بازسازی میشود. ما یک سیستم گرمایشی دقیق طراحی کردهایم تا دما را در محدوده مشخصی نگه دارد.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از سیستم گرمایشی با امواج مادون قرمز کوتاه استفاده میکنیم؛ این سیستم به گونهای تنظیم شده که بتواند انرژی را بدون نیاز به تماس فیزیکی، به سرعت به فوتورزیست منتقل کند. یکنواختی دما در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، تکرارپذیری این فرآیند در حد ±۰.۰۵ درجه سانتیگراد است. پاسخ سیستم به تغییرات دما به اندازه کافی سریع است تا بتواند با تغییرات دما مقابله کند؛ همچنین، سیستم کنترل خودکار، از خروج دما از محدوده مشخص جلوگیری میکند. این سیستم گرمایشی با اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ همچنین، طراحی این سیستم باعث کاهش تولید ذرات میشود، زیرا از موادی استفاده شده که گاز تولید نمیکنند و سطوح مربوطه نیز به راحتی قابل تمیزکاری هستند. قابلیت اطمینان این سیستم، از طریق کارکرد مداوم آن اندازهگیری میشود؛ ما این سیستم را ۲۴ ساعته روشن نگه میداریم، بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای؛ همچنین، عملکرد آن در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت، پایدار باقی میماند.
چرا این سیستم برای کارخانههای تولید نیمههادی مناسب است؟
در تولید نیمههادی، دما صرفاً یک مقدار ثابت نیست؛ بلکه یک متغیر مهم در فرآیند تولید است. این سیستم گرمایشی، عملکرد یکنواخت فوتورزیست را در تمام دستههای مواد تضمین میکند؛ همچنین، باعث کاهش تغییرات در ابعاد کلیدی ویفر میشود. این سیستم امکان کنترل دقیقتر فرآیند را فراهم میکند، بدون اینکه باعث تغییر در برنامههای تولید شود. نتیجه این کار، کاهش خطاها، کاهش اتلاف مواد، و امکان برنامهریزی بهتر برای زمان تولید است. کارایی این سیستم، از طریق استفاده از امواج مادون قرمز کوتاه و مدیریت دقیق دما، حاصل میشود؛ بنابراین، میتوان هزینههای عملیاتی را کاهش داد، بدون اینکه دقت فرآیند تولید کاهش یابد.
چه چیزهایی باید در هنگام نصب و استفاده روزانه در نظر گرفت؟
نصب این سیستم، نیازمند تطبیق اینترفیس آن با سیستمهای موجود در کارخانه است؛ اگر این کار به درستی انجام نشود، ممکن است نقاط گرم ایجاد شود. این سیستم گرمایشی، زمانی بهترین عملکرد را دارد که اتاق تولید تمیز، خشک و مناسب باشد؛ مواد حلال باقیمانده، میتوانند باعث تغییرات در دما شوند و به یکنواختی دما آسیب برسانند. برای کنترل دما، باید از روشهای منظم برای بررسی سیستم استفاده کرد.