Arrêtez de perdre du temps en attendant que vos wafer se réchauffent !
Si vous avez déjà passé du temps dans une usine de semi-conducteurs, vous connaissez bien cette sensation d’attente interminable.
Le principal obstacle dans le traitement des semi-conducteurs n’est généralement pas le processus lui-même, mais plutôt les phases de préchauffage et de refroidissement. Le système de chauffage par air forcé est extrêmement lent. En fait, on souffle simplement de l’air chaud dans la pièce, dans l’espoir que le wafer en capte suffisamment pour être traité correctement. C’est lent, inefficace, et cela nuit à la productivité.
Il existe cependant une autre solution : le chauffage par rayonnement infrarouge. Au lieu de chauffer l’air, ce système envoie directement des rayonnements électromagnétiques sur la surface du wafer. C’est une manière complètement différente de gérer l’énergie.
Pourquoi ça marche
L’air est un très mauvais conducteur de chaleur. Lorsque l’on utilise un système de chauffage par air forcé, on gaspille beaucoup d’énergie juste pour chauffer l’espace vide de la chambre de traitement. Le chauffage par rayonnement infrarouge évite ce problème : l’énergie atteint immédiatement la surface du wafer. Le temps de préchauffage est donc incroyablement rapide, ce qui permet de traiter beaucoup plus de wafer par heure. C’est comme comparer le réchauffement d’une pièce avec un radiateur à celui causé par le soleil par un jour froid.
Les problèmes potentiels
Le chauffage par rayonnement infrarouge n’est pas sans défauts. Comme il est très puissant, il est facile de dépasser la température souhaitée. Si vos capteurs sont de mauvaise qualité ou imprécis, vous risquez d’avoir des zones surchauffées, voire même des wafer endommagés.
Pour éviter cela, nous utilisons un système de contrôle en boucle fermée. Ce système permet au système de détecter en temps réel la température et d’ajuster automatiquement la puissance de chauffage. C’est bien mieux que ces fours à ventilation traditionnels qui se contentent de diffuser de la chaleur, sans garantie de résultats.
La réalité
Avant de remplacer votre équipement actuel, rappelez-vous que le chauffage par rayonnement infrarouge n’est pas une solution magique. Il génère une forte densité de chaleur. Bien que les temps de traitement diminuent considérablement, votre équipement doit faire face à une pression accrue. En particulier, vos joints et vos scellements vont subir des contraintes importantes dues aux cycles thermiques rapides. Assurez-vous que vos joints peuvent vraiment résister à de telles contraintes.
Mais si vous cherchez à augmenter votre capacité de production ? Le chauffage par rayonnement infrarouge est une excellente solution. Sa taille est inférieure à celle des fours à circulation d’air, et vous pouvez obtenir vos wafer prêts beaucoup plus rapidement, sans endommager le silicium.