במחלקת הייצור, בשלבי האפייה הרכה והקשה, נקבעים הפרמטרים החשובים של המוצר. שינוי של 1°C בלבד, או הופעת אזורים חמים על הוואף, יגרמו לשינויים בממדים הקריטיים של הוואף. התפוקה נפגעת כבר לפני שהוואף מגיע לחדר האטכיה.
מה חשוב מבחינה טכנית? יצרנו את המנורה האינפרא-אדומה ללא אוזון, על בסיס פליטת אור אינפרא-אדום ומבנה של קוורץ-הלוגן, כך שהיא עומדת בתנאי הטמפרטורה של החומרים החצי-מוליכים. כך נוצרת אחידות טמפרטורית של פחות ממילימטר אחד על פני הוואף, עם שליטה בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C. אין אוזון, כך שאין חומרים מחמצנים באוויר בחדר הנקי, ואין תגובות כימיות לא רצויות במהלך תהליך האפייה. ההספק של המנורה נשאר יציב ברמה של 2% לאורך 5,000 שעות ויותר, וקצב העלייה בטמפרטורה נשאר קבוע מדי פעם.
למה זה עובד בתהליך הליתוגרפיה? טמפרטורת האפייה הרכה מסייעת בהסרת הממסים ובהפחתת המתח בשכבה הדקה שנוצרת על הוואף. טמפרטורת האפייה הקשה קובעת את רמת ההידבקות של השכבה לוואף ואת עמידותה בפני תהליך האטכיה. המנורה מספקת אותו פרופיל חום על הוואף ה-200 כמו על הוואף הראשון, כך שהשליטה בממדים של הוואף נשארת קבועה. המנורה מתאימה לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, עם חומרים שנשלטים היטב מבחינת החלקיקים הנמצאים באוויר, ועם פליטה מינימלית של גזים. כך יש פחות חומרים שצריך לזרוק, פחות עבודה חוזרת, וצריכת האנרגיה נשארת צפויה, מכיוון שהאור האינפרא-אדום מחדיר ביעילות לתוך החומר הפוטורזיסטיבי.
מה צריך לקחת בחשבון בעת ההתקנה? יש לוודא שיש ראייה ברורה לכיוון הוואף, ושיש מסלול חום נקי ומחזיר אור – כל מכשול יגרום להיווצרות של צללים. המנורה עובדת בצורה הטובה ביותר כאשר היא מותאמת לספקטרום הספיגה של החומר שעל הוואף. לכן, אם משנים את התהליך, יש צורך בהתאמות קלות בעוצמת האור ובזמן האפייה. יש לתת למנורה 30 דקות להתחמם, כדי שתגיע למצב של איזון טמפרטורי ותאפשר שליטה טובה יותר בתהליך.