בקו של 300 ממ, שינוי של 0.5°C בטמפרטורה במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט לא רק משפיע על הנתונים שמוצגים בגרף – הוא גם גורם לשינוי בממדים החשובים של...

על רצפת המפעל, סטייה של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה אינה שינוי קטן. זו וופרט אבוד, עובי הפוטורזיסט שסטה מהתקן, והמתנה לעצירת קו ייצור. בליתוגרפיה, בקרה...