फैब फ्लोर पर काम करते समय, छोटी-छोटी बातों पर भी ध्यान देना आवश्यक है। सॉफ्ट बेक के दौरान 0.1°सेल्सियस से भी कम तापमान में बदलाव होने से प्रोडक्शन प्रक्रिया प्रभावित हो सकती है, जिससे कई वेफर बर्बाद हो जाते हैं। पारंपरिक हीटिंग प्लेटें थर्मल इनर्शिया का सामना नहीं कर पातीं; लेकिन NIR वेफर ड्रायर ऐसा नहीं करते।
हमने क्या बनाया, और यह क्यों महत्वपूर्ण है?
हमने यह NIR ड्रायर “नियर-इन्फ्रारेड रेडिएंट हीटिंग” तकनीक के आधार पर बनाया। इसका उद्देश्य ऊर्जा को सीधे फोटोरेसिस्ट परत में स्थानांतरित करना है… इससे पूरे बेकिंग प्रक्रिया के दौरान वेफरों पर तापमान ±0.1°सेल्सियस के भीतर ही रहता है… ऐसे में प्रोडक्शन प्रक्रिया में कोई विचलन नहीं होता। यह ड्रायर क्लास 1-100 के क्लीनरूमों में ही काम कर सकता है… और इसमें कोई कण उत्पन्न नहीं होता… यह बात इन-सिटू मॉनिटरिंग से पुष्ट होती है। यह ड्रायर 24/7 काम कर सकता है… और इसकी सेवा अवधि लाखों चक्रों तक है।
यह लिथोग्राफी प्रक्रिया के लिए क्यों उपयुक्त है?
लिथोग्राफी में, सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक के दौरान फोटोरेसिस्ट की चिपचिपाहट निर्धारित होती है… तथा वेफरों की सतह पर तापमान भी नियंत्रित होता है। इस NIR ड्रायर के द्वारा वेफर की सतह पर तापमान स्थिर रहता है… ऐसे में पहले लॉट से लेकर पचासवें लॉट तक तापमान स्थिर ही रहता है। इससे बेकिंग प्रक्रिया में कम समय लगता है… ऊर्जा की खपत कम होती है… एवं थर्मल असमानता के कारण वेफर बर्बाद नहीं होते। ऐसे में प्रोडक्शन प्रक्रिया आसान हो जाती है… एवं मौजूदा सिस्टमों में इसे आसानी से एकीकृत किया जा सकता है।
आपको क्या योजना बनानी होगी?
NIR ड्रायर के लिए वेफर तक सीधी रोशनी आवश्यक है… एवं ऊर्जा का प्रवाह भी नियंत्रित होना आवश्यक है। स्टैक्ड कैरियर या गैर-मानक चक्स, सब्सट्रेट पर छाया डाल सकते हैं… इसलिए एक विशेष फिक्स्चर का उपयोग करना आवश्यक है… एवं इसे अपने ट्रैक लेआउट के अनुसार ही सेट करना होगा। एक बार सही ढंग से सेट हो जाने के बाद, यह ड्रायर कम रखरखाव के साथ ही निरंतर काम कर सकता है… लेकिन इसकी सेटअप सटीकता, कॉन्टैक्ट-आधारित सिस्टमों की तुलना में अधिक है।