Di lini produksi, prosesnya tidak pernah berhenti. Mesin-mesin litografi bekerja secara berurutan, dan jika suhu yang digunakan untuk proses pemanasan kurang akurat, maka kontrol dimensi kritis akan tidak memenuhi standar yang ditetapkan. Masalah terkait perubahan suhu bukanlah masalah sederhana; hal ini akan berdampak pada pembuangan produk yang tidak berkualitas, kebutuhan untuk melakukan perbaikan ulang, serta penurunan kapasitas produksi.
Apa yang penting dalam sistem ini Kami merancang sistem pemanasan untuk produksi wafer dengan menggunakan pemanasan inframerah yang terkendali, serta struktur termal berbasis kuarsa yang mampu menjaga keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer hingga ±0,1°C. Tingkat presisi yang tinggi ini memungkinkan aliran bahan fotoreseist tetap stabil, sehingga lebar garis hasil pemrosesan juga tetap stabil. Sistem ini beroperasi di ruang bersih kelas 1–100, tanpa adanya partikel kotoran sama sekali. Kontaminasi diukur berdasarkan jumlah cacat per wafer, bukan per shift. Kami menyebutkan masa pakai pemanas dalam satuan jam; unit-unit yang digunakan biasanya dapat bertahan hingga 5.000 jam tanpa mengalami penurunan kinerja.
Mengapa sistem ini efektif dalam produksi nyata Dalam produksi wafer dengan variasi jenis yang banyak, diperlukan ketepatan suhu yang konsisten dari shift ke shift. Sistem ini mampu mencapai titik suhu yang diinginkan dengan baik, sehingga variasi suhu antar batch tetap terkendali. Dengan demikian, kesalahan selama proses pemrosesan berkurang, waktu siklus produksi menjadi lebih stabil, dan penggunaan energi pun berkurang. Selain itu, interval perawatan yang panjang membuat pemeliharaan preventif tidak perlu dilakukan secara rutin.
Apa yang perlu diperhatikan saat pemasangan Pemasangannya cukup sederhana, tetapi interfasis termal perlu diperhatikan dengan seksama. Pastikan ukuran pemanas sesuai, periksa kompatibilitas tegangan dan kabelnya, serta pastikan kabel yang digunakan merupakan kabel yang layak digunakan di ruang bersih. Butuh waktu singkat untuk menyetel nilai PID agar sistem berfungsi dengan optimal. Jangan abaikan verifikasi koneksi termal—langkah inilah yang memastikan bahwa ketepatan suhu dapat dicapai secara konsisten.