Mengapa kita beralih dari penggunaan udara panas dalam proses manufaktur semikonduktor
Sebagian besar pabrik semikonduktor masih menggunakan udara panas untuk proses pemanasan dan pengeringan. Itu merupakan cara lama yang tidak efisien. Udara merupakan konduktor panas yang buruk. Untuk membuat wafer mencapai suhu yang diinginkan, diperlukan pemanasan seluruh ruang pemrosesan. Ini sama saja dengan mencoba menghangatkan satu butir kacang dengan memanaskan seluruh dapur. Hal ini membuang-buang energi dan memperlambat prosesnya.
Solusi yang lebih baik: sinar inframerah
Inilah keunggulan sinar inframerah. Alih-alih menggunakan udara sebagai medium pemanas, sinar inframerah mampu mengirimkan energi langsung ke permukaan bahan yang diproses. Prosesnya sangat cepat. Anda tidak perlu menunggu angin sejuk untuk menghangatkan permukaan bahan tersebut. Foton-foton sinar inframerah akan menyebabkan molekul-molekul di permukaan bahan bergetar, sehingga bahan tersebut akan segera mencapai suhu yang diinginkan.
Dalam proses manufaktur yang kompleks, hal ini sangat berguna. Jika sebelumnya proses pemanasan membutuhkan waktu 10 menit menggunakan oven konvektif, maka dengan menggunakan sinar inframerah, waktu tersebut dapat dikurangi menjadi beberapa detik saja.
Ruang yang lebih efisien, lebih sedikit barang yang perlu disimpan
Dengan mengganti penggunaan udara panas, ukuran mesin pun dapat dikurangi. Tidak perlu lagi menggunakan blower yang berukuran besar atau saluran insulasi yang tebal. Mesin menjadi lebih kecil, sehingga ruang yang dibutuhkan pun berkurang. Selain itu, Anda juga dapat memanaskan bagian tertentu dari wafer tanpa harus memanaskan seluruh ruang pemrosesan.
Kekurangan sinar inframerah
Namun, sinar inframerah bukanlah “sihir” yang bisa melakukannya secara sempurna. Sinar ini hanya akan efektif jika dapat “melihat” target yang ingin dipanaskan. Jika bentuk komponen tersebut tidak rata atau memiliki lubang-lubang yang dalam, maka sinar inframerah tidak akan sampai ke bagian-bagian tersebut. Anda masih membutuhkan sumber panas tambahan atau alat khusus untuk memastikan seluruh bagian bahan dipanaskan secara merata.
Perlu diingat bahwa lampu inframerah berintensitas tinggi menghasilkan banyak panas. Jika pendinginan dan perlindungan yang digunakan tidak tepat, sensor dan kabel-kabel akan rusak dengan cepat. Namun, jika waktu proses yang diperlukan merupakan hambatan utama, maka sinar inframerah merupakan solusi yang tepat. Dengan cara ini, proses pemanasan yang lambat dan merepotkan dapat diubah menjadi proses yang cepat dan efisien.