Di lantai pengeluaran, proses pembuatan wafer tidak pernah terhenti. Unit-unit litografi beroperasi secara berturut-turut. Jika suhu semasa proses pembakaran berubah sedikit saja, kawalan dimensi yang tepat akan terjejas. Perubahan suhu bukanlah masalah kecil – ia akan menyebabkan pembaziran bahan, kerja pembaikan yang banyak, dan pengurangan kapasiti pengeluaran.
Apa yang penting dalam sistem ini
Kami membina sistem pemanasan untuk pengeluaran wafer dengan menggunakan pemanasan inframerah yang terkawal, serta struktur termal berasaskan kuarsa. Ini memastikan suhu di permukaan wafer tetap stabil pada tahap ±0.1°C. Ketepatan suhu inilah yang memastikan aliran bahan fotorezistan berjalan lancar dan lebar garisan pada wafer tetap stabil. Sistem ini beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100, di mana tiada zarah kotoran yang boleh wujud. Kualiti sistem ini diukur berdasarkan bilangan kecacatan pada setiap wafer, bukan setiap syif kerja. Tempoh hayat pemanas juga dapat dikira dalam jam; unit-unit yang digunakan biasanya dapat beroperasi selama 5,000 jam tanpa masalah.
Mengapa sistem ini berkesan dalam pengeluaran sebenar
Dalam pengeluaran wafer yang memerlukan pelbagai jenis proses, kita memerlukan ketepatan suhu yang konsisten dari satu syif ke syif yang lain. Sistem ini memastikan suhu yang tepat dicapai semasa proses pembakaran, sehingga variasi suhu antara batch-batch wafer dapat dikawal. Dengan ini, kesilapan semasa proses pendedahan menjadi lebih sedikit, dan masa yang diperlukan untuk menyelesaikan satu siklus pengeluaran juga tetap stabil. Ciri pemanasan yang cepat dan terkawal ini membantu mengurangkan penggunaan tenaga, manakala jangka hayat yang panjang pula memudahkan penyelenggaraan sistem.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Pemasangan sistem ini mudah sahaja, tetapi antaramuka termal perlu diperhatikan dengan teliti. Pastikan saiz pemanas sesuai, semak keserasian voltan dan konektor, serta pastikan kabel yang digunakan memenuhi standard bilik bersih. Proses penyesuaian parameter PID juga memerlukan masa yang singkat. Jangan abaikan langkah pengesahan sambungan termal – inilah yang akan memastikan ketepatan suhu yang diharapkan dapat dicapai sebenarnya.