Pada garisan litografi, soft bake yang berubah walaupun setengah darjah sudah cukup untuk mengubah lengkung CD anda dan membakar sejam permulaan wafer. Kami membina lampu pengering katalis sel bahan api untuk menghapuskan variabiliti itu daripada bajet terma. Ia menghasilkan haba kering yang pantas dalam jalur inframerah dekat (NIR) yang sejajar dengan penyerapan photoresist, jadi anda mendapat pengeluaran pelarut yang konsisten tanpa lebihan haba.
Apa yang penting, dari segi teknikal
Lampu ini beroperasi pada jalur NIR yang sempit untuk pemanasan volumetrik yang cepat. Ini bermakna permukaan dan isi photoresist dipanaskan serentak—kadar kelewatan terma lebih rendah, kurang kecerunan suhu. Keseragaman peringkat wafer dikekalkan pada ±0.1°C di seluruh medan pendedahan, dan kebolehulangan suhu kekal ketat dari kitaran ke kitaran. Pemancar terletak dalam perhimpunan kuarza yang dibina untuk bilik bersih Kelas 1–100, dengan pengesahan tiada penghasilan zarah secara in-situ. Kestabilan output menunjukkan anjakan kurang dari 3% selepas 5,000 jam, sejajar dengan jadual operasi fab 24/7.
Inilah sebab ia berkesan dalam pemprosesan photoresist: anda memerlukan profil suhu yang sama untuk soft bake dan hard bake, siang atau malam, dari satu lot ke lot berikutnya. Lampu ini mencapai suhu sasaran dengan cepat, mengekalkannya dengan bersih, dan menurunkan suhu tanpa masalah—mengurangkan kerja semula, meningkatkan hasil pada node yang ketat. Profil terma yang bersih juga mengurangkan penggunaan tenaga per wafer dengan tidak membuang haba sisa ke dalam peralatan dan sistem ekzos.
Dalam pembungkusan, ini bermaksud kurang pekan semula dan lekatan yang lebih konsisten sebelum proses wire bond.
Beberapa perkara perlu diambil perhatian. Pemasangan memerlukan penyelarasan lampu dengan geometri ruang dan parameter utiliti fab anda—voltan, arus, aliran penyejuk, dan ekzos. Keamatan output disesuaikan untuk photoresist; bahan lain mungkin memerlukan profil NIR yang berbeza.
Rancang satu pusingan perintis pendek untuk mengunci resipi pada lapisan filem anda. Selepas itu, proses boleh diulangi dengan pemeriksaan dan kalibrasi lampu secara rutin.