
Hentikan pembaziran tenaga untuk memanaskan udara di bilik bersih anda
Jika anda pernah berada di bilik bersih yang digunakan untuk pengeluaran semikonduktor, anda pasti tahu betapa sukarannya untuk mengekalkan suhu wafer pada tahap yang sesuai sambil memindahkannya dari satu tempat ke tempat lain. Ini merupakan usaha yang berterusan untuk mengelakkan kehilangan haba.
Kebanyakan orang menggunakan pemanas konvektif, tetapi masalahnya ialah pemanas tersebut membuang separuh daripada tenaganya untuk memanaskan udara di sekeliling wafer. Ini merupakan pembaziran tenaga yang besar, dan juga meningkatkan jejak karbon anda.
Kami memutuskan untuk tidak lagi berjuang melawan aliran udara, sebaliknya fokus pada pembebasan haba secara langsung. Itulah sebabnya kami menggunakan sistem gelombang inframerah pendek pada kereta pengangkut wafer tersebut.
Cara ia berfungsi
Bayangkan saja seperti matahari. Pemanas inframerah tidak mempedulikan aliran udara. Ia mengeluarkan radiasi elektromagnetik yang langsung memanaskan wafer tersebut. Oleh kerana ia merupakan panasan yang langsung, anda tidak perlu meningkatkan suhu seluruh bilik hanya untuk memanaskan wafer tersebut. Apabila kami menggantikan pemanas udara biasa dengan pemanas inframerah, penggunaan tenaga untuk setiap wafer berkurangan dengan ketara.
Memastikan ruang yang mencukupi
Ruang merupakan faktor penting dalam kereta pengangkut wafer. Anda tidak boleh meletakkan pemanas yang besar di situ. Untuk menjadikannya lebih kompak, kami menggunakan lampu kuarsa yang mempunyai kepadatan tenaga yang tinggi. Dengan cara ini, anda dapat mendapatkan haba yang diperlukan tanpa perlu menggunakan peralatan yang besar. Kami juga menggunakan lampu yang mengandungi halogen agar haba yang dihasilkan tetap stabil. Selain itu, kami tambahkan lapisan khas pada kaca tersebut agar haba dapat disalurkan terus ke wafer, bukan ke badan kereta pengangkut itu sendiri.
Masalah yang mungkin timbul (dan cara mengatasinya)
Namun, semuanya bukanlah mudah. Ada beberapa perkara yang perlu diperhatikan. Lampu inframerah akan menghasilkan haba dengan cepat. Ini bagus untuk kelajuan pengeluaran, tetapi ia akan memberi beban yang berat pada sistem bekalan kuasa. Jika kabel kereta pengangkut terlalu tipis, voltan akan turun. Ini akan menyebabkan ketidakseragaman suhu. Pastikan sistem elektrik dapat menangani beban tersebut.
Selain itu, lampu tersebut akan rosak dari masa ke masa, dan penggantian lampu tersebut memerlukan usaha manual. Tiada siapa yang ingin menghabiskan masa empat jam untuk membersihkan kereta pengangkut hanya kerana lampu tersebut rosak. Kami menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan terminal sambungan yang mudah. Teknisi boleh menukar lampu tersebut dengan cepat, sekaligus memastikan proses pengeluaran berjalan lancar dan penjimatan tenaga dapat diteruskan.