Op de productielijn leer je om je niet druk te maken over kleine details. Een afwijking van minder dan 0,1°C tijdens het drogen kan leiden tot grote problemen, waardoor veel wafers beschadigd raken. Traditionele warmteplaten proberen de thermische inertie tegen te gaan. NIR-drogers daarentegen niet.
Wat we hebben gebouwd en waarom dat belangrijk is
We hebben deze NIR-droger ontworpen met behulp van near-infraroodstraling. Het doel is om energie rechtstreeks over te dragen naar de fotorezistlaag, zodat deze snel kan drogen. Hierdoor blijft de temperatuur op het oppervlak van de wafel constant binnen een marge van ±0,1°C. Dit zorgt voor een hoge reproduceerbaarheid, zodat de variaties tussen batches binnen de toegestane grenzen blijven. De droger kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100, zonder dat er partikels worden gegenereerd. De droger is ontworpen voor 24/7 gebruik, zonder onverwachte stilstanden, en heeft een levensduur van tienduizenden cycli.
Waarom dit past bij de realiteit van de lithografie
Bij lithografie bepalen het zachte en harde drogen de viscositeit van de fotorezist, halen ze het oplosmiddel eruit en bepalen ze het profiel van de zijkanten van de wafel. Met deze NIR-droger kunnen we de temperatuur op het oppervlak van de wafel stabiliseren, in plaats van op het plateau. Hierdoor blijft de thermische situatie constant, van het eerste batch tot het vijftigste batch. Dit zorgt voor kortere droogtijd, minder energieverbruik en minder defecte producten die te wijten zijn aan thermische oneffenheden. De mogelijkheden voor integratie met bestaande apparatuur nemen toe.
Wat je moet meenemen in je planning
Voor het gebruik van NIR-is er een direct zicht op de wafel nodig, evenals een gecontroleerde reflectieroute. Gestapelde dragers of niet-standaard houders kunnen het substraat blokkeren. Het is dus belangrijk om een speciaal ontworpen houder te gebruiken, die goed past in het oppervlak van de apparatuur. Zodra alles goed is uitgelijnd, biedt de droger betrouwbare prestaties met minimale onderhoudskosten. Echter, de vereisten voor de instellingen zijn strikter dan bij contactgebaseerde systemen.