Stop met het verspillen van energie om de lucht in uw schone ruimte op te warmen
Als u ooit tijd in een halfgeleiderschone ruimte hebt doorgebracht, weet u wat voor uitdaging dat is. Het is namelijk een constante strijd om de wafers op de juiste temperatuur te houden terwijl ze worden verplaatst.
De meeste mensen gebruiken convectieverwarmers, maar hier is het probleem: ze besteden de helft van hun tijd aan het opwarmen van de lucht rondom de wafers. Dat is een enorme verspilling van energie en heeft ook negatieve gevolgen voor het broeikaseffect.
Wij hebben besloten om niet meer te vechten tegen de lucht, maar om rechtstreeks de wafers op te warmen. Daarom gebruiken we korte-golf-infraroodsystemen op onze transportwagens.
Hoe het werkt
Stel u zich voor dat het om de zon gaat. Infraroodverwarmers geven niks om luchtcirculatie. Ze stralen elektromagnetisch licht uit dat direct op de wafers terechtkomt en zich onmiddellijk omzet in warmte.
Omdat het een directe hit is, hoeft u de temperatuur in de hele ruimte niet verhoogd te houden om de wafers warm te houden. Toen we geforceerde luchtcirculatie vervangen door infraroodverwarming, was de daling in energieverbruik per wafer behoorlijk groot.
Het combineren van alle elementen
Ruimte is op een transportwagen in een schone ruimte een groot probleem. Je kunt er geen enorme verwarmers in plaatsen.
Om alles compact te houden, gebruiken we kwartslampen met een hoge wattdichtheid. Hierdoor krijgt u genoeg warmte, zonder dat er veel ruimte in beslag wordt genomen. We gebruiken ook lampen die gevuld zijn met halogeen, zodat de warmte op den duur constant blijft. Op het glas worden speciale coatings aangebracht, zodat de warmte rechtstreeks naar de wafers gaat, in plaats van de constructie van de wagen te oververhitten.
De nadelen (en hoe deze te omzeilen)
Het is natuurlijk niet allemaal perfect. Er zijn een paar dingen waar u rekening mee moet houden.
Infraroodlampen gaan in seconden tijd aan. Dat is snel – erg snel zelfs. Dat is goed voor de productiecapaciteit, maar het zorgt wel voor een plotselinge grote belasting op de stroomvoorziening.
Als de kabels van de wagen te dun zijn, zal er een voltagedaling optreden. Dan wordt de temperatuuruniformiteit verstoord. Zorg ervoor dat uw elektrische systeem deze pieken aankan.
Verder is er nog het onderhoud. Lampen branden uiteindelijk uit, en het vervangen ervan vereist handwerk. Niemand wil vier uur bezig zijn met het schoonmaken van een wagen alleen omdat een lamp kapot is gegaan.
We hebben dit opgelost met snel te vervangen terminals. Uw technici kunnen de lampen snel vervangen, zodat de productie doorgang kan vinden en de energiebesparing behouden blijft.