Na hali produkcyjnej uczymy się radzić sobie z drobnymi problemami. Nawet niewielka odchylenie temperatury o 0,1°C podczas procesu suszenia może doprowadzić do błędów w wymiarach płytek krzemowych, co skutkuje utratą dużych ilości produktu. Tradycyjne grzałki walczą z efektem bezwładności cieplnej. Natomiast suszarki typu NIR tego nie robią.
Co stworzyliśmy i dlaczego to ważne
Stworzyliśmy tę suszarkę na bazie promieniowania w zakresie bliskiego podczerwieni. Kluczowym elementem jest szybka przenoszenie energii prosto do warstwy fotorezystu. Dzięki temu uzyskujemy jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki krzemowej w zakresie ±0,1°C, przy tym powtarzalność wynosi tak wysoką wartość, że zmiany pomiędzy poszczególnymi partiami pozostają poniżej dopuszczalnych granic. Suszarka może pracować w pomieszczeniach klasy czystości 1–100, bez żadnej generacji cząsteczek, co potwierdza monitorowanie w czasie rzeczywistym. Platforma jest przeznaczona do pracy 24/7, bez żadnych przerw w produkcji, a jej żywotność wynosi dziesiątki tysięcy cykli.
Dlaczego to pasuje do warunków litografii
W procesie litografii procesy miękkiego i twardego suszenia wpływają na lepkość fotorezystu, usunięcie rozpuszczalników oraz kształt ścianek płytek krzemowych. Dzięki tej suszarce możemy utrzymać stałą temperaturę na powierzchni płytki krzemowej, a nie na płycie grzewczej. Budżet cieplny pozostaje stały od pierwszej do pięćdziesiątej partii produkcyjnej.
Dzięki temu możliwe jest skrócenie czasu suszenia, zmniejszenie zużycia energii oraz redukcja liczby produktów uszkodzonych z powodu niestabilności temperatury. Proces staje się bardziej efektywny, a integracja z istniejącymi liniami produkcyjnymi jest prostsza.
To, co należy uwzględnić przy planowaniu
Aby suszarka mogła funkcjonować efektywnie, konieczny jest bezpośredni kontakt z płytką krzemową oraz kontrolowany kanał odbicia światła. Użytkowanie specjalnych elementów nośnych lub nietypowych uchwytów może przeszkodzić w tym procesie. Należy więc planować użycie specjalnego urządzenia i dostosować je do układu linii produkcyjnych.
Gdy urządzenie zostanie prawidłowo ustawione, zapewnia ono powtarzalne wyniki suszenia przy minimalnej konieczności konserwacji. Jednak tolerancje ustawienia są większe niż w przypadku systemów opartych na kontakcie.