Por que estamos nos afastando do uso de ar quente no processamento de semicondutores
A maioria das linhas de produção de semicondutores ainda utiliza o ar quente para curar e secar os materiais. É um método antigo, e, francamente, é frustrante. O ar é um péssimo condutor de calor. Para alcançar a temperatura adequada em um wafer, é preciso aquecer toda a câmara. É como tentar aquecer apenas uma ervilha, aquecendo toda a cozinha. Isso gasta muita energia e torna todo o processo mais lento.
O tempo está passando…
É aí que entra a tecnologia de infravermelho (IR). Em vez de depender de um meio como o ar, o IR envia energia diretamente para o substrato. É rápido. Muito rápido. Não é preciso esperar que um ventilador mova ar quente sobre a superfície. Os fótons atingem o material, as moléculas começam a vibrar, e a temperatura é alcançada quase instantaneamente. Em processos complexos, isso é revolucionário. Se atualmente você precisa de 10 minutos para completar um ciclo em um forno convencional, com tecnologia IR esse tempo pode ser reduzido para alguns segundos.
Mais espaço, menos bagunça
Ao abandonar o uso de ar quente, é possível reduzir o tamanho dos equipamentos. Não há mais necessidade de aquecedores grandes ou dutos isolados. As máquinas ficam menores, o que significa mais espaço disponível. Além disso, é possível focar a energia em apenas um ponto específico do wafer, sem aquecer o resto da câmara.
As desvantagens
Mas o IR não é uma solução mágica. Ele só funciona se conseguir “ver” o alvo. Se as peças tiverem formas estranhas ou buracos profundos, a radiação não chegará aos pontos ocultos. Será necessário usar algum tipo de aquecimento adicional ou dispositivos rotativos para garantir que tudo seja uniformemente aquecido. E outra coisa importante: as lâmpadas de IR de alta intensidade geram muito calor. Se você não tomar cuidado com o sistema de resfriamento, seus sensores e fios podem ser danificados rapidamente. Mas, se o tempo de processamento for o principal obstáculo, o IR é a solução ideal. Ele transforma um processo lento e tedioso em um processo rápido e direcionado.