На производственном полу человек учится справляться с мелкими проблемами. Даже небольшое отклонение температуры в размере 0,1°C во время процесса высушивания может привести к ошибкам в размерах пластинок и к их браку. Традиционные нагревательные платы борются с тепловым инертностью материалов. Однако сушильные устройства на основе инфракрасного излучения не имеют такой проблемы.
Что мы создали и почему это важно
Мы разработали этот сушильный аппарат на основе использования инфракрасного излучения. Суть заключается в быстрой передаче энергии непосредственно в слой фоторезиста. Это позволяет добиться однородности температуры на всей поверхности пластинки в пределах ±0,1°C, что обеспечивает стабильность процесса. Устройство может работать в чистых помещениях класса 1–100 без какого-либо образования частиц, что подтверждается данными непрерывного контроля. Устройство рассчитано на круглосуточную работу без перерывов, а срок его службы составляет десятки тысяч циклов.
Почему это подходит для литографии
В процессе литографии процессы мягкого и жесткого высушивания влияют на вязкость фоторезиста, способствуют удалению растворителя и формированию профиля стенок пластинки. С помощью этого сушильного устройства температура на поверхности пластинки остается стабильной, а не на поверхности нагревательной платы. Таким образом, тепловые условия остаются стабильными с первой по пятидесятую партию продукции.
Это позволяет сократить время высушивания, снизить энергопотребление и уменьшить количество браков, связанных с тепловыми неоднородностями. Это также делает возможным интеграцию устройства в существующие производственные линии.
Что необходимо учитывать при планировании
Для работы устройства необходим прямой вид на пластинку и контролируемый путь отражения излучения. Накладные крепления или нестандартные фиксаторы могут мешать правильной работе устройства. Необходимо использовать специальные крепления, соответствующие расположению устройства на производственной линии.
После правильной установки устройство обеспечивает стабильную работу с минимальными затратами на техническое обслуживание. Однако требования к точности установки выше, чем у устройств с контактным нагревом.