Прекратите тратить время в ожидании, пока пластины нагреются. Если вы когда-либо работали на производстве полупроводников, вы знаете, насколько неприятно ждать. Самым серьезным препятствием при глубокой обработке не является сам процесс – проблема заключается в времени, необходимом для нагрева и охлаждения. Традиционные системы с принудительной циркуляцией воздуха работают крайне медленно. По сути, это просто способ распространения горячего воздуха по помещению; при этом необходимо, чтобы пластины получали достаточное количество тепла для выполнения задачи. Это медленно, неэффективно и снижает производительность.
А вот инфракрасное нагревание работает иначе. Вместо того чтобы нагревать воздух, инфракрасные лучи направляются прямо на поверхность пластин. Это совершенно другой подход к использованию энергии.
Почему это работает
Воздух – плохой проводник тепла. Когда используется система с принудительной циркуляцией воздуха, тратится много энергии на нагрев пустого пространства в камере. Инфракрасное нагревание избегает этой проблемы: энергия сразу достигает поверхности пластин. Время нагрева минимально, что позволяет обрабатывать гораздо больше пластин за час. Это как разница между нагревом комнаты с помощью обогревателя и ощущением тепла солнца в холодный день.
Проблемы
У инфракрасного нагревания тоже есть свои недостатки. Из-за высокой мощности легко превысить желаемую температуру. Если датчики дешевые или неточные, возникают проблемы с перегревом пластин. Чтобы этого избежать, используется система замкнутого цикла управления. Она позволяет системе отслеживать температуру в реальном времени и корректировать мощность нагрева. Это гораздо лучше, чем использование старых конвекционных печей.
Реальность
Перед тем, как заменить старое оборудование, имейте в виду, что инфракрасное нагревание не является волшебным решением. Оно создает высокую плотность тепла. Хотя время обработки сокращается, оборудование должно выдерживать большие нагрузки. В частности, уплотнения и герметики будут подвергаться большим нагрузкам из-за быстрых изменений температуры. Необходимо убедиться, что уплотнения способны выдержать такие нагрузки.
Но если вы хотите увеличить производительность, инфракрасное нагревание – отличный выбор. Его размеры значительно меньше, чем у крупных печей с принудительной циркуляцией воздуха, и пластины могут быть готовы гораздо быстрее, без повреждения кремния.