Прекратите тратить энергию на нагрев воздуха в чистом зале
Если вы когда-либо находились в чистом зале для производства полупроводников, вы знаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Необходимо поддерживать оптимальную температуру пластин во время их перемещения, что по сути является постоянной борьбой с потерями тепла.
Большинство людей используют конвекторные обогреватели, но проблема в том, что они тратят половину времени на нагрев воздуха вокруг пластин. Это огромная трата энергии и серьезное влияние на уровень выбросов углерода.
Мы решили перестать бороться с воздухом и сосредоточиться на самой задаче – нагреве пластин. Поэтому мы используем инфракрасные обогреватели на наших тележках для транспортировки пластин.
Как это работает
Представьте себе солнце. Инфракрасные обогреватели не зависят от скорости движения воздуха. Они излучают электромагнитные волны, которые мгновенно превращаются в тепло на поверхности пластин. Поскольку нагрев происходит напрямую, нет необходимости повышать температуру всего помещения, чтобы сохранить тепло на пластинах. После замены обычных обогревателей на инфракрасные значительно сократилось количество потребляемой энергии на единицу продукции.
Как разместить оборудование
В чистом зале пространство – ценный ресурс. Нельзя просто установить там огромный обогреватель. Чтобы сделать оборудование компактным, мы используем кварцевые лампы с высокой плотностью мощности. Таким образом можно получить необходимое количество тепла без использования громоздкого оборудования. Мы также используем лампы с галогеновым наполнителем, чтобы тепло сохранялось на протяжении длительного времени. На стекло ламп наносится специальное покрытие, что обеспечивает направленный нагрев пластин, а не самой тележки.
Проблемы и способы их решения
Это не волшебство. Есть несколько моментов, на которые нужно обратить внимание. Инфракрасные лампы включаются за считанные секунды. Это хорошо для скорости работы, но это создает большую нагрузку на электросеть. Если провода на тележке слишком тонкие, возникают падения напряжения. Это приводит к нарушению равномерности температуры. Убедитесь, что ваша электросеть может выдержать такую нагрузку.
Кроме того, лампы со временем изнашиваются, и их замена требует ручных усилий. Никто не хочет тратить четыре часа на очистку тележки из-за сломанной лампы. Мы решили эту проблему с помощью быстросоединяемых контактов. Так техники могут быстро заменять лампы, сохраняя темп работы тележки и продолжая экономить энергию.