ทำไมเราถึงให้ความสำคัญกับการทดสอบคุณสมบัติการกันไฟฟ้าของเครื่องทำความร้อนสำหรับแผ่นซิลิคอนมากนัก
เมื่อเราใช้แผ่นซิลิคอนในอุณหภูมิสูง สิ่งที่เราไม่อยากเจอเลยก็คือปัญหาการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้า แม้จะมีประกายไฟเพียงเล็กน้อยหรือกระแสไฟที่รั่วออกมาเพียงเล็กน้อย ก็สามารถทำลายแผ่นซิลิคอนทั้งชุดได้ในเวลาเพียงไม่กี่วินาทีเท่านั้น นี่เป็นสถานการณ์ที่เลวร้ายมาก
นั่นคือเหตุผลว่าทำไมเราถึงไม่ทำการทดสอบเพียงแค่ตัวอย่างเท่านั้น เราไม่สามารถหวังว่าจะโชคดีได้ เครื่องทำความร้อนทุกตัวที่ออกจากโรงงานของเราจะต้องผ่านการทดสอบความต้านทานไฟฟ้าและการกันไฟฟ้าอย่างละเอียด ไม่มีข้อยกเว้น หากเครื่องทำความร้อนตัวใดไม่ผ่านการทดสอบ ก็จะไม่ถูกส่งออกไป
การทดสอบคุณสมบัติการกันไฟฟ้าของอุปกรณ์
ความจริงก็คือ เครื่องทำความร้อนสำหรับแผ่นซิลิคอนต้องทนต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงมาก พวกมันต้องร้อนขึ้นและเย็นลงอย่างต่อเนื่อง ซึ่งหมายความว่าวัสดุที่ใช้ทำเครื่องทำความร้อนจะขยายตัวและหดตัวอยู่ตลอดเวลา เมื่อเวลาผ่านไป แรงดันเหล่านี้อาจทำให้เกิดรอยแตกเล็กๆ ในวัสดุเซรามิกหรือควอตซ์ได้
หากการกันไฟฟ้าของเครื่องทำความร้อนล้มเหลว กระแสไฟฟ้าก็จะรั่วเข้าไปในโครงสร้างของเครื่องทำความร้อน ในห้องที่มีสภาพสะอาด นี่ไม่ใช่เพียงแค่ปัญหาทางเทคนิคเท่านั้น แต่ยังเป็นอันตรายต่อความปลอดภัยของพนักงาน และยังเป็นสาเหตุให้อุปกรณ์เสียหายได้อย่างรวดเร็ว เราจึงใช้การทดสอบด้วยแรงดันสูงเพื่อให้เห็นข้อบกพร่องเหล่านี้ตั้งแต่เนิ่นๆ แทนที่จะปล่อยให้มันเกิดขึ้นขณะที่เครื่องทำความร้อนกำลังทำงาน
กฎ “ไม่มีทางแก้ไข” สำหรับปัญหาการกันไฟฟ้า
เราตรวจสอบค่าความต้านทานไฟฟ้าเพื่อให้แน่ใจว่าองค์ประกอบที่ใช้ทำความร้อนนั้นถูกแยกออกจากโครงสร้างของเครื่องทำความร้อนอย่างสมบูรณ์ หากค่าความต้านทานต่ำ ก็มักหมายความว่าวัสดุมีความเสียหาย หรือว่าตัวเชื่อมต่อไม่แน่นพอ
เราพยายามให้เครื่องทำความร้อนมีค่าความต้านทานสูงมาก แม้ว่ามันจะร้อนมากก็ตาม และนี่คือสิ่งสำคัญ: หากเครื่องทำความร้อนตัวใดไม่ผ่านการทดสอบนี้ เราก็จะทิ้งมันไปเลย คุณไม่สามารถซ่อมแซมชั้นการกันไฟฟ้าที่เสียหายได้ มันจะต้องแข็งแรงหรือไม่ก็เป็นขยะไปเลย
การแลกเปลี่ยนเพื่อความมั่นใจ
เพื่อให้ได้ค่าความต้านทานที่สูงขึ้น เราบางครั้งก็ต้องใช้วัสดุเซรามิกที่มีความหนามากขึ้น หรือใช้สารเคลือบพิเศษ
แน่นอนว่าสิ่งนี้ทำให้เครื่องทำความร้อนมีขนาดใหญ่ขึ้นเล็กน้อย และอาจทำให้เวลาในการเริ่มทำงานนานขึ้นเล็กน้อยเพราะมีมวลความร้อนมากขึ้น แต่คุณจะได้ระบบที่แข็งแรงและปลอดภัย คุณเพียงแค่ต้องคำนึงถึงเวลาที่ใช้ในการเริ่มทำงานเมื่อคุณปรับค่า PID controller ของเครื่องทำความร้อน
เราจะส่งรายงานการทดสอบมาให้คุณตามหมายเลขชุดของเครื่องทำความร้อนของคุณ ด้วยวิธีนี้ คุณจะสามารถดูค่าความต้านทานและค่าการรั่วไหลได้ด้วยตัวเอง และมั่นใจได้ว่าทุกอย่างอยู่ในสภาพที่ดีก่อนที่จะเชื่อมต่อเครื่องทำความร้อนเข้ากับระบบ