Litografi katında, yarım derece bile sapan bir yumuşak pişirme kritik boyut (CD) sapmasını bozabilir ve birçok işlemi etkisiz hale getirebilir. Güvenilir ısıya ihtiyacınız var—ayarını yapıp unuttuğunuz değil, parmaklarınızı çaprazlamanın gereksiz olduğu bir ısı.
Motor kaputunun altındaki önemli noktalar
Semikonduktör termal bütçeleri için R7s infrared ısıtıcı lambaları spesifikasyonlarımızdadır. Kısa dalga çıkışı enerjiyi hızlı ve doğrudan fotoresiste aktarır, alt tabakanın ısınması minimumdur. Kuvars tüp yüksek saflık ve düşük gaz çıkışı için seçilmiştir, böylece partikül sayısı Class 1–100 temiz odalarda sabit kalır. Pişirme yüzeyi boyunca ±0.1°C uniformite sağlanır ve tekrar edilebilirlik parti parti tutarlıdır. R7s tabanı standart armatürlere uyumludur ve lamba 24/7 fabrika çalışması için tasarlanmıştır; 5,000+ saat boyunca sabit çıkış sağlar.
Uygulamada neden önemlidir
Fotoresist işleme aşamasında pişirme solvent giderme, film gerilmesi ve CD kontrolünü belirler. R7s sıcaklığı hızlı şekilde yakalar ve aşım olmadan sabit tutar, böylece yumuşak pişirme ve sert pişirme profilleri reçeteye tam uyum gösterir. Sonuç? Daha az yeniden işlem, daha sıkı CD dağılımı ve güvenilir verim. Enerji tüketimi, yüksek elektrikten ışıma verimliliği sayesinde ihtiyaca göre ısıtan emitörlerle düşer; daha az lamba değişimi ise plansız duruşları azaltır.
Saha notları
Montaj basittir, ancak hizalama opsiyonel değildir. Wafer düzlemine olan mesafe ve açı proses spesifikasyonlarına uymalıdır—aksi takdirde uniformite kaybı yaşanır. Soğuk başlangıçta biraz daha yüksek giriş akımı bekleyin; güç kaynağı ve termal kontrolcü bu geçici duruma göre boyutlandırılmalıdır.
Mümkün olduğunda kuru hava veya inert gazda çalıştırın; yüksek nem lamba ömrünü erken sonlandırır. Ayrıca lambanın kontrolcünüzün sönükleştirme ve geri besleme metodu ile uyumlu olduğundan emin olun—0.2°C altı stabilite gerekiyorsa kapalı döngü kontrol tercih edilmelidir.