На лінії літографії для софт-бейку досить навіть зміщення температури на півградуса, щоб змінити криву CD і втратити годину запусків пластин. Ми розробили лампу для сушіння каталізатора паливних елементів, щоб усунути цю змінність у тепловому бюджеті. Вона працює швидко, подає сухе тепло в діапазоні ближнього інфрачервоного випромінювання (NIR), який збігається з поглинанням фоторезисту, забезпечуючи повторюване видалення розчинника без перевищення температури.
Технічні особливості
Лампа працює в вузькому діапазоні NIR для швидкого об’ємного нагріву. Це означає, що поверхня та об’єм фоторезисту нагріваються одночасно — менша тепловідкладка, менший температурний градієнт. Однорідність по пластині тримається в межах ±0,1°C по всьому полю експозиції, а повторюваність температури залишається стабільною цикл за циклом. Емітер розміщений у кварцовому корпусі, що відповідає вимогам чистих приміщень класу 1–100, з підтвердженим нульовим утворенням частинок безпосередньо на місці. Стабільність вихідної потужності не перевищує 3% дрейфу протягом 5 000 годин, що відповідає графіку роботи фабрики 24/7.
Чому ця лампа ефективна у процесі фоторезисту: потрібен однаковий температурний профіль для софт-бейку і хард-бейку, вдень і вночі, серія за серією. Лампа швидко виходить на задану температуру, підтримує її стабільно й плавно знижується без збоїв — менше передробок, кращий вихід на вузьких технологічних вузлах. Чистий тепловий профіль також знижує енергоспоживання на пластину, оскільки не відводить зайве тепло у кріплення та вентиляцію.
У пакуванні це означає менше повторних запікань і більш стабільне зчеплення перед пружинним припаюванням.
Декілька моментів для врахування. Монтаж потребує підгонки лампи під геометрію камери та технічні параметри вашої фабрики — напруга, струм, потік охолоджуючої рідини та вентиляція. Інтенсивність випромінювання налаштована під фоторезист; для інших матеріалів може знадобитися інший спектр NIR.
Заплануйте короткий пусковий цикл для налаштування рецепту під ваш стек плівок. Після цього процес буде залишатися повторюваним за умови регулярної перевірки та калібрування лампи.