На виробничій лінії людина засвоює, як керувати дрібними деталями процесу. Навіть незначна зміна температури на рівні менше 0,1°C під час процедури висушування може призвести до значних похибок у параметрах виробів та до зіпсовування великої кількості пластин. Традиційні нагрівальні плати борються з тепловою інерцією. Але сушильні пристрої на основі ЧФ-випромінювання цього не роблять.
Що ми створили та чому це важливо
Ми створили цей сушильний пристрій на основі випромінювання в короткій інфрачервоній області спектра. Суть полягає у прямій передачі енергії в шар фотополімеру, що дозволяє досягти однорідності температури на всій поверхні пластини в межах ±0,1°C. Це забезпечує достатню точність для контролю параметрів виробництва. Пристрій може функціонувати у чистих приміщеннях класу 1–100 без будь-яких проблем з пилом; це підтверджується результатами безпосереднього контролю. Пристрій розроблений для постійної роботи протягом 24/7, без перерв під час тестування, а термін служби становить десятки тисяч циклів.
Чому цей пристрій підходить для літографії
У процесі літографії процедури пом’якшення та загартування фотополімеру впливають на його в’язкість, виводять розчинник та визначають параметри поверхні пластини. Завдяки цьому сушильному пристрою температура на поверхні пластини залишається стабільною, а не залежить від температури на платформі. Таким чином, тепловий баланс залишається стабільним від першої до п’ятдесятої партії продукції.
Це дозволяє скоротити час процедури висушування, зменшити споживання енергії та зменшити кількість бракованих виробів, пов’язаних із тепловою нерівномірністю. Це також розширює можливості для інтеграції пристрою в існуючі лінії виробництва.
Що потрібно врахувати під час планування
Для роботи пристрою необхіден прямий видимий канал зв’язку з пластиною та контрольований шлях відбиття випромінювання. Використання складених кріплень чи нестандартних елементів може заважати правильній роботі пристрою. Необхідно використовувати спеціальні кріплення та правильно їх розташувати відносно ліній виробництва.
Після правильного розташування пристрій забезпечує стабільну роботу з мінімальним обслуговуванням. Однак толеранції при розташуванні пристрою є значно строжі, ніж у системах на основі контакту.