Припиніть марнувати час на очікування, поки пластинки нагріються
Якщо ви коли-небудь працювали на заводі з виробництва напівпровідників, ви знаєте, як це прикро – постійно чекати.
Найбільшою перешкодою у процесі обробки є не сам процес, а час його розпочатку та завершення. Традиційні системи конвекційного нагріву є дуже повільними. Фактично, ви просто нагріваєте повітря в приміщенні, сподіваючись, що пластинки отримають достатню кількість тепла для обробки. Це повільно, і це заважає ефективності роботи.
Існує ще метод інфрачервоного нагріву. Замість того, щоб нагрівати повітря, інфрачервоне випромінювання безпосередньо потрапляє на поверхню пластинки. Це зовсім інший підхід до передачі енергії.
Чому цей метод ефективний
Повітря є поганим провідником тепла. Коли використовується система конвекційного нагріву, витрачається багато енергії на нагрів порожнього простору в камері. Інфрачервоне випромінювання уникає цього проміжника – енергія миттєво потрапляє на поверхню пластинки. Час нагріву є дуже коротким, тож можна обробляти значно більшу кількість пластинок на годину. Це як різниця між нагріванням кімнати за допомогою обігрівача та відчуттям сонячних променів на шкірі у холодний день.
Проблеми, пов’язані з цим методом
Інфрачервоне нагрівання також має свої недоліки. Через високу потужність легко перевищити бажану температуру. Якщо датчики є дешевими чи неточними, можуть виникнути проблеми з нагріванням окремих частин пластинки. Щоб уникнути цього, використовується система зворотного зв’язку. Вона дозволяє системі „відчувати“ температуру в реальному часі та коригувати потужність нагріву. Це значно ефективніше, ніж ті старі системи конвекційного нагріву.
Реальність
Перш ніж позбутися старого обладнання, пам’ятайте, що інфрачервоне нагрівання – це не чарівний засіб. Воно створює велику кількість тепла. Хоча час обробки значно скорочується, обладнання мусить витримувати більший тиск. Зокрема, герметичні елементи будуть піддаватися значним навантаженням через швидке нагрівання та охолодження. Обов’язково переконайтеся, що ваші герметичні елементи можуть витримати такі умови.
Але якщо ви хочете збільшити продуктивність, інфрачервоне нагрівання є чудовим рішенням. Його розміри значно менші, ніж у великих систем конвекційного нагріву, а пластинки можна отримати значно швидше, без пошкодження силіцію.