Припиніть марнувати енергію на нагрівання повітря в чистій кімнаті
Якщо ви коли-небудь перебували в чистій кімнаті для обробки напівпровідників, ви знаєте, з якими труднощами доводиться боротися. Необхідно підтримувати правильну температуру пластин під час їх переміщення – це постійна боротьба з втратами тепла.
Більшість людей використовують конвективні обігрівачі, але проблема полягає у тому, що вони витрачають половину свого часу на нагрівання повітря навколо пластин. Це значне марнування енергії та серйозний вплив на рівень викидів вуглецю.
Ми вирішили припинити боротьбу з повітрям та зосередитися на самому об’єкті нагрівання. Саме тому ми використовуємо системи короткохвильового інфрачервоного випромінювання на наших тележках для транспортування пластин.
Як це працює
Уявіть собі сонце. Інфрачервоні обігрівачі не звертають уваги на потоки повітря. Вони випромінюють електромагнітне випромінювання, яке миттєво перетворюється на тепло. Оскільки тепло потрапляє безпосередньо на пластину, не потрібно підвищувати температуру всієї кімнати. Коли ми замінили звичайні обігрівачі на інфрачервоні, споживання енергії на одну пластину значно зменшилося.
Як все це організувати
У чистій кімнаті простір є дуже цінним ресурсом. Не можна просто встановити величезний обігрівач там. Щоб все було компактним, ми використовуємо кварцові лампи високої потужності. Таким чином можна отримати необхідне тепло без зайвих елементів обладнання. Ми також використовуємо лампи з галогеном, щоб тепло залишалося стабільним протягом часу. На скло ламп додаються спеціальні покриття, щоб тепло потрапляло безпосередньо на пластину, а не нагрівало саму тележку.
Проблеми та їхнє вирішення
Це не є чимось чудесним. Є кілька речей, на які потрібно звернути увагу. Інфрачервоні лампи швидко нагріваються – це дуже корисно для продуктивності, але це створює значне навантаження на електропостачання. Якщо проводка тележки занадто тонка, може виникнути зниження напруги. Це призводить до порушення однорідності температури. Тож необхідно, щоб електропроводка могла витримати таке навантаження.
Крім того, є проблема з технічним обслуговуванням. Лампи з часом виходять з ладу, і їх заміна є складною процедурою. Ніхто не хоче витрачати чотири години на чищення тележки лише через те, що одна з ламп зламалася. Ми вирішили цю проблему за допомогою швидкоз’єднуючихся контактів. Таким чином техніки можуть швидко замінити лампу, що дозволяє зберегти продуктивність та економити енергію.