300 ملی میٹر کی لائن پر، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران 0.5 درجہ سیلسیس کا اختلاف صرف گراف پر ہی ظاہر نہیں ہوتا؛ بلکہ یہ اختلاف ویفر کے اہم ابعاد کو نینومیٹر کی سطح پر بدل دیتا ہے، اور یہی اختلاف براہ راست پیداوار میں کمی کا سبب بنتا ہے۔ لیتھوگرافی اور ریزسٹ پروسیسنگ میں، درجہ حرارت کوئی ثانوی عنصر نہیں ہے؛ بلکہ یہ خود ہی ایک اہم عنصر ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم تھرمل سبسسٹم کو ہیلوجن-فری، NIR-آپٹیمائزڈ کوارٹز ہیٹنگ عناصر کے ذریعے تیار کرتے ہیں، تاکہ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1 درجہ سیلسیس کے اندر یکساں رہے۔ بیچ سے بیچ تک درجہ حرارت کی استقامت ≤±0.2 درجہ سیلسیس ہے، تاکہ ماحولیاتی حالات میں تبدیلی کے باوجود بھی پروسیس مناسب طریقے سے جاری رہے۔
یہ پلیٹ فارم کلاس 1 سے کلاس 100 تک کے کلین روموں کے لئے مناسب ہے؛ مواد اور سیلز کا انتخاب اس طرح کیا گیا ہے کہ مستقل آپریشن کے دوران کسی قسم کے ذرات پیدا نہ ہوں۔ حقیقی اعتباری پیمانہ، سسٹم کی دستیابی ہے؛ یعنی 24/7 کام کرنے کی صلاحیت، بغیر کسی غیرمتوقع بندش کے، اور پیشن گوئی کرنے والے ڈایگنوسٹکس کی مدد سے لیمپوں کی عمر اور درجہ حرارت میں تبدیلی کا پتہ لیا جاسکتا ہے۔
یہ حل حقیقی پیداوار میں کیوں مفید ہے؟
تھرمل بجٹ، فوٹوریزسٹ کی کارکردگی سے براہ راست مربوط ہے؛ ریزسٹ کا بہاؤ، حل کی خارجیکرن، اور چسپن یہ سب درجہ حرارت کی استقامت سے متعلق ہیں۔ بہترین یکسانیت سے ویفر کی سطح پر نقائص کم ہوتے ہیں، اور CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے؛ جس سے پروسیس کے وقت میں کمی آتی ہے اور فضلہ کم ہوتا ہے۔
تیز رفتار کنٹرول اور مستحکم آپریشن سے توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، اور مرمت کے وقفوں میں اضافہ ہوتا ہے۔ نتیجے کے طور پر، مستقل پروفائل، دہرائے جانے والے فلم کے خصوصیات، اور کم تغیرات حاصل ہوتے ہیں، جس سے پروسیس کو روکنے کی ضرورت نہیں پڑتی۔
آپ کو کیا منصوبہ بندی کرنے کی ضرورت ہے؟
یہ یونٹس “پلاگ اینڈ پلے” نہیں ہیں؛ ان کے لئے الگ پاور بس اور EMI-کنٹرولڈ وائرنگ کی ضرورت ہے، تاکہ درجہ حرارت کی استقامت برقرار رہے۔ انہیں آپ کے خاص چیمبر کی ساخت اور ایگزاسٹ پروفائل کے مطابق ہی استعمال کیا جاسکتا ہے۔
تھرمل پروفائل کو اپنے ریزسٹ اسٹیک کے مطابق ٹیون کرنے کے لئے کچھ وقت درکار ہے۔ ایک بار ٹیوننگ ہوجانے کے بعد، سسٹم مستقل طور پر کام کرتا رہے گا… لیکن اس کے لئے انٹرفیس اور یوٹیلیٹیز کو بھی ہیٹنگ ماڈیول کے مطابق ہی نصب کرنا ضروری ہے۔