فیبرک فلور پر، “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” کے عمل میں ہی وہ نمونہ قائم ہوتا ہے جس کی بنیاد پر پروڈکشن ہوتی ہے۔ اگر درجہ حرارت میں صرف 1 ڈگری کی تبدیلی ہو جائے، یا ویفر کے کسی حصے پر زیادہ گرمی پڑ جائے، تو پروڈکٹ کے اہم ابعاد میں تغیرات آنا شروع ہو جاتے ہیں۔ ویفر کے ایچنگ چیمبر میں جانے سے پہلے ہی پروڈکشن میں کمی واقع ہو جاتی ہے۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم نے آزون-فری انفراریڈ لیمپ کو نیئر-انفراریڈ ریڈیئیشن اور کوارٹز-ہالوجن ٹیکنالوجی کے ذریعے تیار کیا ہے؛ اس طرح ویفر پر درجہ حرارت کی یکسانیت برقرار رہتی ہے، اور اس کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1 ڈگری کے اندر ہی رہتا ہے۔ آزون کی عدم موجودگی کی وجہ سے کلین روم کی ہوا میں کوئی آکسیڈنٹ نہیں پیدا ہوتا، اور بیکنگ کے دوران فوٹوریزسٹ میں کوئی غیرمطلوب کیمیائی عنصر بھی داخل نہیں ہوتا۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی آؤٹ پٹ میں صرف 2% کی تغیرات ہوتے ہیں، اور یہ عمل ہر بار دہرایا جا سکتا ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
“سافٹ بیک” کے عمل سے محلولوں کو ختم کیا جاتا ہے، جبکہ “ہارڈ بیک” کے عمل سے فلم کی چپکنے کی صلاحیت اور ایچنگ کے خلاف مزاحمت قائم ہوتی ہے۔ یہ لیمپ، 200ویں ویفر پر بھی پہلے والے ویفر کی طرح ہی حرارتی پروفائل فراہم کرتا ہے؛ اس طرح CD کنٹرول اور اوورلے میں کوئی تغیر نہیں آتا۔ یہ لیمپ کلاس 1–100 کے کلین رومز میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے، کیوں کہ اس میں ذرات کنٹرول کیے گئے ہیں، اور گیسوں کا اخراج بھی کم ہے۔ اس طرح ویسٹ میٹریل کی مقدار کم ہوتی ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت بھی کم ہوتی ہے، اور توانائی کی کھپت بھی قابل پیشن گوئی رہتی ہے، کیوں کہ NIR ریڈیئیشن فوٹوریزسٹ میں مؤثر طریقے سے جذب ہوتا ہے۔
کیا منصوبہ بندی کرنے کی ضرورت ہے؟
انسٹالیشن کے دوران ویفر کی سطح کی جانب دیکھنے کا راستہ صاف رکھنا ضروری ہے، تاکہ کوئی رکاوٹ نہ ہو۔ لیمپ کی کارکردگی اس وقت بہترین ہوتی ہے جب اس کی رفتار سبسٹریٹ کی جذب کرنے کی صلاحیت کے مطابق ہو؛ اس لیے اگر پروسیس میں تبدیلی کی جائے، تو انٹنسیٹی اور وقت کو تھوڑا سا ایڈجسٹ کرنا ضروری ہے۔ لیمپ کو حرارتی توازن تک پہنچنے کے لیے 30 منٹ کا وقت دینا ضروری ہے، تاکہ اس کی کارکردگی مستقل رہ سکے۔