Trên dây chuyền sản xuất có chiều dài 300mm, sự thay đổi nhiệt độ 0,5°C trong quá trình nung phim fotoresist không chỉ ảnh hưởng đến các chỉ số được...

Trên sàn sản xuất, sai số nửa độ trong nhiệt độ bake không phải là một biến đổi nhỏ. Đó là một wafer bị mất, độ dày photoresist lệch khỏi tiêu chuẩn,...