Cibule on Compact IR Heating Units

Infračervená žárovka s zlatým reflektorem

Wed, 22 Jul 2026 04:37:27 +0800

Udržování čistoty v prostředí třídy 100
Když pracujete v prostředí třídy 100, dokonce i nepatrný zákal prachu může způsobit katastrofu. Problém spočívá v tom, že většina topných zařízení produkuje mikroskopické nečistoty právě v okamžiku, kdy je potřeba, aby vše bylo sterilní.

To jsme vyřešili tak, že jsme použili infrakrátké žárovky z kvartzu vysoké čistoty spolu s odrazivky pokrytými zlatem.

Proč zlato?
Zní to luxusně, ale ve skutečnosti jde o fyziku. Zlato dokonale odráží infračervené záření. Navíc se na rozdíl od hliníku neoxiduje. To je velmi důležité – znamená to, že teplota zůstává konstantní po tisíce hodin, protože povrch nezačíná rozpadat se na prach. Zlato prostě posouvá veškerou energii dopředu, čímž působí silně na pracovní materiál, přičemž samotný povrch zůstává chladný na dotek.

Levná žárovka pro sušení destiček

Thu, 02 Jul 2026 08:25:17 +0800

Na povrchu litografické desky může teplotní kolísání nebo pomalé zahřívání zničit to, co by mělo být stabilní proces. Sušení polovodičových destiček, měkké i tvrdé zahřívání vyžadují teplo, které je přesné, rychlé a čisté. Používáme krátkovlnné infračervené kvartové halogenové žárovky, které umožňují takovou kontrolu bez nutnosti platit vysoké náklady.

Co je důležité v podstatě
Vybíráme krátkovlnné infračervené kvartové halogenové elementy pro rychlý a přímý přenos energie. Reakce probíhá během několika milisekund, takže profily zahřívání jsou přesné – což je důležité při ochraně termálních parametrů tenkých vrstev. Výkon žárovky je nastaven tak, aby byla rovnoměrnost na povrchu fotorezistu na úrovni ±0,1 °C – to zajišťuje konzistentnost kritických rozměrů a úhlů boků vrstev.

Svítidlo s emiterem v blízké infračervené oblasti (NIR)

Sun, 28 Jun 2026 05:27:58 +0800

V prostředí výroby není proces zahřívání fotorezistu vůbec pasivní. Odchylka teploty o 2 °C během měkčího zahřívání způsobuje rozptyl hodnot CD v celé šarvátce. Nekonzistentnost při tvrdším zahřívání? To znamená jistou cestu k selhání procesu. Navíc vznik částic během tepelných cyklů může snížit výtěžnost ještě předtím, než dokončí lithografie. Potřebujete tedy teplo, které se chová předvídatelně, čistě a rychle.

Co je z technického hlediska důležité
Používáme emitory v oblasti blízké infračerveného záření, které zajišťují homogenitu teplotního pole na úrovni pod milimetrové, takže teplota desky zůstává v rozmezí ±0,1 °C v celé aktivní oblasti. Reakce je rychlá – nástup a pokles teploty trvají pouze několik milisekund – takže každý cyklus zahřívání probíhá ve stejných podmínkách, v každé šarvátce. Výstupní hodnoty zůstávají stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkou svítivosti a teploty menší než 5 % od nastavené hodnoty. Křemenná obalová vrstva a speciální geometrie vlákna zabraňují vzniku částic, což je nezbytné pro provoz v čistých prostorách tříd 1–100.