Nejlepší infračervená lampa pro fotorezistent

Wed, 01 Jul 2026 12:32:20 +0800

V prostoru určeném k litografii se pomocí procesů „měkkého“ a „tvrdého“ vypalování fixuje profil fotoresisty. I když dojde k odchylce teploty o pouhé dva stupně, může to vést k variacím v kvalitě výrobku. Zdroj tepla musí odpovídat chemickým vlastnostem fotoresistu – žádné nadměrné ani nedostatečné zahřívání. Vždy musí být dosažen správný tepelný profil.

Co je důležité pod povrchem
Používáme infračervené lampy, které vyzařují krátkovlnnou energii přizpůsobenou způsobu absorpce světla fotoresistem. Spektrální výstup je nastaven tak, aby odpovídal místům, kde fotoresist skutečně reaguje. Na povrchu plochy určené k vypalování je rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost hodnoty teploty zůstává v rozmezí ±0,5 °C mezi jednotlivými seriami. Kvartová obálka a geometrie reflektorů jsou navrženy tak, aby se minimalizovalo vznikání částic. Systém je vhodný pro provozy s klasifikací čistoty 1–100. Výstupní intenzita zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, přičemž odchylka intenzity nepřesahuje 5 %.

Přesný termostatický ohřívač fotorezistoru

Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800

V prostředí litografie není krok vypalování pouze pauzou – jedná se o hranici tolerance. Chování fotoresistu je ovlivněno teplotou, a odchylka o několik desetin stupně může způsobit chyby v šířce linií, které zjistíte až při elektrických testech. V továrnách s vysokou kapacitou to znamená odpad a nutnost přerábění výrobků. My jsme vyvinuli přesné ohřívače fotoresistu, abychom udrželi teplotu v rozmezí určeném pro daný proces.

Co je důležité
Používáme kvartové ohřívače s krátkovlnným infračerveným zářením, nastavené na konkrétní spektrální profil, aby energie mohla být rychle předána do fotoresistu – bez jakéhokoli kontaktu. Rozmanitost teploty na povrchu čipu zůstává v rozmezí ±0,1 °C, a opakovatelnost zůstává na úrovni ±0,05 °C mezi jednotlivými procesy. Reakce ohřívače je dostatečně rychlá na to, aby umožnila precizní řízení teploty, a uzavřená smyčka řízení zabrání překročení kritických hodnot. Ohřívač je kompatibilní s čistými místnostmi tříd 1–100. Jeho konstrukce snižuje tvorbu částic tím, že se vyhýbá materiálům, které uvolňují plyny, a zajistuje snadnou údržbu kritických povrchů. Spolehlivost se měří na základě nepřetržitého provozu – jednotky fungují 24/7 bez jakýchkoliv plánovaných přestávek, a výkon zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin.

Fotorezistent on Compact IR Heating Units

Nejlepší infračervená lampa pro fotorezistent

Přesný termostatický ohřívač fotorezistoru