http://ir-heat-unit.com/cs/tags/katalyz%C3%A1tor/ Recent content in Katalyzátor on Compact IR Heating Units Hugo cs Tue, 02 Jun 2026 08:48:35 +0800 http://ir-heat-unit.com/cs/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 08:48:35 +0800 http://ir-heat-unit.com/cs/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Sušička katalyzátoru palivových článků"></p> <p>Na linii litografie stačí, aby se soft bake posunul o půl stupně, a může to ovlivnit křivku CD a ztratit hodinu startů waferů. Vyvinuli jsme sušicí lampu pro katalyzátor palivových článků, která eliminuje tuto variabilitu v teplotním rozpočtu. Dodává rychlé, suché teplo v pásmu blízkého infračerveného záření (NIR), které odpovídá absorpci fotorezistu, takže dochází k opakovatelnému odstranění rozpouštědla bez přestřelení teploty.</p> <p><strong>Co je technicky podstatné</strong><br> Lampa pracuje v úzkém pásmu NIR pro rychlé, objemové ohřívání. To znamená, že povrch a objem fotorezistu se ohřívají současně—méně tepelného zpoždění, menší gradient. Rovnoměrnost na úrovni waferu drží ±0,1°C v rámci expoziční plochy a opakovatelnost teploty zůstává stabilní cyklus za cyklem. Vyzařovač je umístěn v kř<a href="https://goldisgood.com">emenn</a>é sestavě navržené pro čisté prostory třídy 1–100, s nulovou produkcí částic ověřenou in-situ. Stabilita výkonu je pod 3% drift během 5 000 <a href="https://henruite.com">hodin</a>, což odpovídá provozním režimům 24/7 ve fabrice.</p>