http://ir-heat-unit.com/cs/tags/nir/ Recent content in (NIR) on Compact IR Heating Units Hugo cs Sun, 28 Jun 2026 05:27:58 +0800 http://ir-heat-unit.com/cs/posts/near-infrared-nir-emitter-bulb/ Sun, 28 Jun 2026 05:27:58 +0800 http://ir-heat-unit.com/cs/posts/near-infrared-nir-emitter-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Svítidlo s emiterem v blízké infračervené oblasti (NIR)"></p> <p>V prostředí výroby není proces zahřívání fotorezistu vůbec pasivní. Odchylka teploty o 2 °C během měkčího zahřívání způsobuje rozptyl hodnot CD v celé šarvátce. Nekonzistentnost při tvrdším zahřívání? To znamená jistou cestu k selhání procesu. Navíc vznik částic během tepelných cyklů může snížit výtěžnost ještě předtím, než dokončí lithografie. Potřebujete tedy teplo, které se chová předvídatelně, čistě a rychle.</p> <p><strong>Co je z technického hlediska důležité</strong><br> Používáme emitory v oblasti blízké infračerveného záření, které zajišťují homogenitu teplotního pole na úrovni pod milimetrové, takže teplota desky zůstává v rozmezí ±0,1 °C v celé aktivní oblasti. Reakce je rychlá – nástup a pokles teploty trvají pouze několik milisekund – takže každý cyklus zahřívání probíhá ve stejných podmínkách, v každé šarvátce. Výstupní hodnoty zůstávají stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkou svítivosti a teploty menší než 5 % od nastavené hodnoty. Křemenná obalová vrstva a speciální geometrie vlákna zabraňují vzniku částic, což je nezbytné pro provoz v čistých prostorách tříd 1–100.</p> http://ir-heat-unit.com/cs/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Sun, 21 Jun 2026 06:06:29 +0800 http://ir-heat-unit.com/cs/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Sušička čipů v blízké infračervené oblasti (NIR)"></p> <p>V prostředí výroby se člověk naučí řešit i ty nejmenší problémy. Odchylka teploty o méně než 0,1 °C během procesu zahřívání může narušit rovnováhu mezi jednotlivými složkami procesu a vést k zničení velkého počtu destiček. Tradiční ohřívače bojují s tepelnou inertností. NIR sušičky <a href="https://o-yate.net">takov</a>ý problém nemají.</p> <p><strong>Co jsme vytvořili a proč je to důležité</strong><br> Sestrojili jsme tuto NIR sušičku na základě principu záření v blízké infračervené oblasti. Cílem je rychlý přenos energie přímo do vrstvy fotoresistu. Díky tomu dosahujeme rovnoměrnosti teploty na celé ploše destičky v rozsahu ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost je natolik vysoká, že variace mezi jednotlivými šaržemi zůstávají pod hranicemi kontroly procesu. Sušička funguje v čistých prostorách třídy 1–100 bez vzniku jakýchkoliv částic, což potvrzuje monitorování na místě. Tato platforma je navržena pro bezproblémovou práci 24/7, bez jakýchkoliv neplánovaných přerušení během testovacích provozů. Její životnost se pohybuje v řádu desítek tisíc cyklů.</p>