Die beste Infrarotlampe für Photoresist

Wed, 01 Jul 2026 12:32:20 +0800

Auf der Lithografiefläche wird durch das Weichbrennen und Hartbrennen das Profil des Fotorezysts festgelegt. Wenn die Temperatur um auch nur zwei Grad abweicht, entstehen Unregelmäßigkeiten im Bild. Die Wärmequelle muss zur Chemie des Fotorezysts passen – es darf weder zu hohe noch zu niedrige Temperaturen geben. Immer muss das ideale thermische Profil eingehalten werden.

Was wirklich wichtig ist: Wir verwenden Infrarotlampen, die kurzwellige Energie abgeben – diese Energie ist auf die Absorptionsfähigkeit des Fotorezysts abgestimmt. Die spektrale Ausstrahlung liegt genau dort, wo der Fotorezyst am empfindlichsten reagiert. Auf der Brennfläche bleibt die Temperatur konstant bei ±0,1°C. Die Genauigkeit der Einstellung bleibt außerdem bei ±0,5°C von Charge zu Charge. Die Geometrie des Quarzkorpusses und des Reflektors sorgt dafür, dass möglichst wenige Partikel entstehen. Das System ist für Reinraumbedingungen der Klasse 1–100 geeignet. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei die Intensitätsabweichung unter 5% liegt.

Präziser Temperatur Photorezist Heizer

Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800

In der Lithografie-Produktion ist die Trocknungsphase keine Pause – sie stellt vielmehr eine Toleranzgrenze dar. Das Verhalten des Fotolacks wird durch die Temperatur bestimmt; bereits kleine Temperaturabweichungen von einigen Zehntelgraden können zu Fehlern in der Linienbreite führen, die erst bei elektrischen Tests entdeckt werden. In Produktionsstätten mit hoher Auslastung bedeutet das direkten Ausschuss und erneutes Arbeiten. Wir haben daher Heizgeräte entwickelt, die eine konstante Temperatur gewährleisten, damit die thermischen Bedingungen stets im gewünschten Bereich bleiben.

Was wirklich wichtig ist: Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Heizung, die auf ein bestimmtes Spektrum abgestimmt ist, um Energie schnell in den Fotolack zu leiten – ohne Kontakt. Die Homogenität auf der Wafer-Oberfläche bleibt bei ±0,1°C innerhalb der Heizplatte, und die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,05°C pro Trocknungsvorgang. Die Reaktionszeit ist ausreichend schnell, um auch bei schnellen Temperaturänderungen eine gleichmäßige Wärmeverteilung zu erreichen. Die geschlossene Regelung verhindert außerdem Übersteigungen außerhalb der kritischen Zone. Die Heizgeräte sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Durch die Vermeidung von Materialien, die Gase abgeben, sowie durch die einfache Reinigung der kritischen Oberflächen wird die Partikelbildung reduziert. Die Zuverlässigkeit wird durch einen kontinuierlichen Betrieb überprüft – die Geräte laufen 24/7 ohne unplanmäßige Ausfälle, und die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant.

Photolack on Compact IR Heating Units

Die beste Infrarotlampe für Photoresist

Präziser Temperatur Photorezist Heizer