Präziser Infrarotsensor für Wafern

Wed, 22 Jul 2026 04:22:46 +0800

Hören Sie auf, Zeit mit dem Warten darauf zu verschwenden, bis die Wafer erhitzt sind.
Wer schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet hat, kennt das lästige Warten. Die größte Verzögerung bei der Verarbeitung entsteht normalerweise nicht durch den eigentlichen Prozess selbst – sondern durch die Zeit, die für die Erhitzung und Abkühlung benötigt wird. Herkömmliche Belüftungssysteme sind einfach zu langsam. Im Grunde genommen bläst man nur heiße Luft durch den Raum und hofft, dass die Wafer genug Hitze abbekommen, um den Prozess abzuschließen. Das ist langsam und ineffizient – und schädigt außerdem die Produktivität.

Präziser Temperatur Photorezist Heizer

Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800

In der Lithografie-Produktion ist die Trocknungsphase keine Pause – sie stellt vielmehr eine Toleranzgrenze dar. Das Verhalten des Fotolacks wird durch die Temperatur bestimmt; bereits kleine Temperaturabweichungen von einigen Zehntelgraden können zu Fehlern in der Linienbreite führen, die erst bei elektrischen Tests entdeckt werden. In Produktionsstätten mit hoher Auslastung bedeutet das direkten Ausschuss und erneutes Arbeiten. Wir haben daher Heizgeräte entwickelt, die eine konstante Temperatur gewährleisten, damit die thermischen Bedingungen stets im gewünschten Bereich bleiben.

Was wirklich wichtig ist: Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Heizung, die auf ein bestimmtes Spektrum abgestimmt ist, um Energie schnell in den Fotolack zu leiten – ohne Kontakt. Die Homogenität auf der Wafer-Oberfläche bleibt bei ±0,1°C innerhalb der Heizplatte, und die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,05°C pro Trocknungsvorgang. Die Reaktionszeit ist ausreichend schnell, um auch bei schnellen Temperaturänderungen eine gleichmäßige Wärmeverteilung zu erreichen. Die geschlossene Regelung verhindert außerdem Übersteigungen außerhalb der kritischen Zone. Die Heizgeräte sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Durch die Vermeidung von Materialien, die Gase abgeben, sowie durch die einfache Reinigung der kritischen Oberflächen wird die Partikelbildung reduziert. Die Zuverlässigkeit wird durch einen kontinuierlichen Betrieb überprüft – die Geräte laufen 24/7 ohne unplanmäßige Ausfälle, und die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant.

Präzision on Compact IR Heating Units

Präziser Infrarotsensor für Wafern

Präziser Temperatur Photorezist Heizer