Temperatursensor für Wafernwerkzeuge

Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800

Kohlenstoffeinsparung in der Halbleiterproduktion: Warum Infrarotheizung tatsächlich funktioniert
Wenn man versucht, eine Halbleiterfabrik kohlenstoffneutral zu machen, muss man auf die alten Widerstandsheizungen verzichten – sie sind einfach zu verschwenderisch. In letzter Zeit nutzen wir stattdessen Infrarotheizlampen für die Behandlung der Wafer. Der Grund ist einfach: Die Strahlen treffen direkt auf die Oberfläche des Wafer. Dadurch wird keine Energie verschwendet, indem man den gesamten Raum aufheizen muss, nur um den Wafer zu erwärmen. Das ist eine viel effizientere Art, Energie zu nutzen.

Präziser Temperatur Photorezist Heizer

Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800

In der Lithografie-Produktion ist die Trocknungsphase keine Pause – sie stellt vielmehr eine Toleranzgrenze dar. Das Verhalten des Fotolacks wird durch die Temperatur bestimmt; bereits kleine Temperaturabweichungen von einigen Zehntelgraden können zu Fehlern in der Linienbreite führen, die erst bei elektrischen Tests entdeckt werden. In Produktionsstätten mit hoher Auslastung bedeutet das direkten Ausschuss und erneutes Arbeiten. Wir haben daher Heizgeräte entwickelt, die eine konstante Temperatur gewährleisten, damit die thermischen Bedingungen stets im gewünschten Bereich bleiben.

Was wirklich wichtig ist: Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Heizung, die auf ein bestimmtes Spektrum abgestimmt ist, um Energie schnell in den Fotolack zu leiten – ohne Kontakt. Die Homogenität auf der Wafer-Oberfläche bleibt bei ±0,1°C innerhalb der Heizplatte, und die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,05°C pro Trocknungsvorgang. Die Reaktionszeit ist ausreichend schnell, um auch bei schnellen Temperaturänderungen eine gleichmäßige Wärmeverteilung zu erreichen. Die geschlossene Regelung verhindert außerdem Übersteigungen außerhalb der kritischen Zone. Die Heizgeräte sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Durch die Vermeidung von Materialien, die Gase abgeben, sowie durch die einfache Reinigung der kritischen Oberflächen wird die Partikelbildung reduziert. Die Zuverlässigkeit wird durch einen kontinuierlichen Betrieb überprüft – die Geräte laufen 24/7 ohne unplanmäßige Ausfälle, und die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant.

Temperatur on Compact IR Heating Units

Temperatursensor für Wafernwerkzeuge

Präziser Temperatur Photorezist Heizer