Digitale Steuereinheit für Infrarot Trockner

Fri, 17 Jul 2026 06:02:41 +0800

Hören Sie auf, im Dunkeln zu raten – machen Sie die IR-Steuerung wirklich intelligent.
Wenn Sie einen „intelligenten Produktionsbetrieb“ anstreben, muss zunächst die manuelle Steuerung der Temperatur abgeschafft werden. Seien wir ehrlich: Die meisten Infrarotheizungen sind ziemlich unpräzise. Sie produzieren einfach nur Wärme. Doch wenn Sie eine Produktionslinie haben möchten, die Ihnen tatsächlich mitteilt, was vor sich geht, benötigen Sie einen digitalen Controller, der es den Heizungen ermöglicht, mit Ihrem PLC oder MES zu kommunizieren.

Nah infrarot Wafer Trockner

Sun, 21 Jun 2026 06:06:29 +0800

Im Produktionsumfeld lernt man, sich mit den kleinen Details auseinanderzusetzen. Eine Abweichung von unter 0,1 °C während des Weichbrennvorgangs kann dazu führen, dass die kritischen Dimensionen der Wafer nicht mehr einhalten werden – dadurch gehen viele Wafer verloren. Herkömmliche Heizplatten kämpfen gegen die thermische Trägheit – NIR-Trockner hingegen nicht.

Was wir entwickelt haben und warum es wichtig ist
Wir haben diesen NIR-Trockner auf der Basis der Near-Infrared-Strahlungstechnologie konstruiert. Der Vorteil dabei ist die direkte Energieübertragung in die Photoresist-Schicht – schnell und effektiv. Dadurch wird eine Homogenität der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1 °C gewährleistet. Die Wiederholgenauigkeit ist so hoch, dass die Variationen zwischen den einzelnen Chargen innerhalb der zulässigen Grenzen bleiben. Der Trockner kann in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden, ohne dass Partikel entstehen – das wird durch kontinuierliche Überwachung bestätigt. Die Anlage ist für einen 24/7-Betrieb geeignet; es gibt keine unplanmäßigen Stillstände. Die Lebensdauer beträgt Zehntausende von Betriebszyklen.

Trockner on Compact IR Heating Units

Digitale Steuereinheit für Infrarot Trockner

Nah infrarot Wafer Trockner