Calentador de secado de obleas Micro LED

Tue, 02 Jun 2026 05:59:29 +0800

Out on the line, el oblea de Micro LED sale de la limpieza y se queda ahí. Cualquier humedad residual en la superficie es una invitación directa al colapso del patrón cuando el fotoresistente entra en contacto, y una sola raya puede atravesar toda la litografía y el grabado, perdiendo el rendimiento. El secador debe eliminar esa película sin dañar el apilamiento.

En qué nos centramos bajo el capó
Diseñamos este Calentador de secado de obleas con un control térmico estricto. En toda el área activa, la uniformidad a nivel de oblea se mantiene dentro de ±0.1°C, por lo que la temperatura del fotoresistente durante el soft bake y el hard bake permanece dentro del rango establecido en la receta. Los elementos infrarrojos de onda corta proporcionan un calentamiento rápido y repetible: menor presupuesto térmico, pero sin comprometer la integridad del polímero.
Es compatible con salas limpias hasta Clase 1–100, utilizando materiales de baja emisión de gases y un recorrido de flujo de aire que no favorece la acumulación de partículas. Verificamos la generación cero de partículas en función de sus límites de metrología, y la plataforma está diseñada para operar 24/7 con un tiempo de actividad que apunta a cero paradas no planificadas.

LED on Compact IR Heating Units

Calentador de secado de obleas Micro LED