Secador de obleas en el infrarrojo cercano (NIR)

Sun, 21 Jun 2026 06:06:29 +0800

En el ambiente de fabricación, uno aprende a lidiar con los detalles más pequeños. Una variación de menos de 0.1°C durante el proceso de secado puede causar desviaciones en las dimensiones críticas de las obleas, lo que resulta en la pérdida de muchas de ellas. Las placas cálidas tradicionales luchan contra la inercia térmica; en cambio, los secadores de obleas por luz infrarroja no tienen ese problema.

Lo que hemos creado y por qué es importante
Hemos diseñado este secador basado en calefacción por radiación infrarroja cercana. El objetivo es lograr una transferencia directa de energía hacia la capa de fotoresina, de manera rápida. Esto permite obtener una uniformidad en la temperatura de las obleas de ±0.1°C en todo el proceso de secado, con una precisión suficiente para mantener las variaciones dentro de los límites permitidos por el control de procesos. Funciona en salas limpias de clase 1–100, sin generación alguna de partículas, como lo demuestra la monitorización en tiempo real. La plataforma está diseñada para funcionar 24/7, sin interrupciones, y su vida útil es de decenas de miles de ciclos.

Secadora on Compact IR Heating Units

Secador de obleas en el infrarrojo cercano (NIR)