Sensor de temperatura para herramienta de obleas

Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800

Reducir las emisiones de carbono en las fábricas de semiconductores: por qué el calentamiento por infrarrojos funciona realmente bien
Si pretendes lograr que una fábrica de semiconductores sea neutra en términos de carbono, debes dejar de depender de esos viejos calentadores resistivos. Son demasiado ineficientes.

Últimamente hemos optado por usar lámparas de calentamiento por infrarrojos para los equipos utilizados en el procesamiento de obleas. La razón es sencilla: estas lámparas calientan directamente la superficie de la oblea. No se desperdicia energía intentando calentar toda la cámara para que solo se caliente la oblea. Es una forma mucho más eficiente de utilizar la energía.

Calentador de fotoresistencia de temperatura precisa

Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800

En el proceso de litografía, la etapa de calentamiento no representa una pausa en el proceso, sino más bien un límite de tolerancia. El comportamiento del fotoreactivo está determinado por la temperatura; incluso un desvío de unas décimas de grado puede causar errores en el ancho de las líneas trazadas, errores que no se detectarán hasta las pruebas eléctricas. En las fábricas de alta producción, esto significa desperdicio y trabajo adicional para corregir los errores. Por eso, hemos diseñado un calentador de fotoreactivos con precisión térmica, para mantener la temperatura dentro de los límites establecidos en todo momento.

Temperatura on Compact IR Heating Units

Sensor de temperatura para herramienta de obleas

Calentador de fotoresistencia de temperatura precisa