http://ir-heat-unit.com/fa/tags/%D9%81%D9%88%D8%AA%D9%88%D8%B1%D8%B2%DB%8C%D8%B3%D8%AA/ Recent content in فوتورزیست on Compact IR Heating Units Hugo fa Wed, 01 Jul 2026 12:32:20 +0800 http://ir-heat-unit.com/fa/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Wed, 01 Jul 2026 12:32:20 +0800 http://ir-heat-unit.com/fa/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="بهترین لامپ مادون قرمز برای فوتورزیست"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، مراحل پختن نرم و سخت، جایی هستند که پروفایل خصوصیات فوتورزیست تعیین می‌شود. اگر دما حتی دو درجه تغییر کند، منجر به نوسانات در کیفیت CD و ایجاد لکه‌های روی سطح ویفر خواهد شد. منبع گرما باید با ویژگی‌های شیمیایی فوتورزیست هماهنگ باشد؛ هیچ اختلافی در دما وجود نباید. همیشه باید پروفایل حرارتی مناسبی وجود داشته باشد.</p> <p><strong>چه چیزهایی اهمیت دارند؟</strong> ما از لامپ‌های مادون قرمز استفاده می‌کنیم؛ این لامپ‌ها انرژی موج کوتاهی تولید می‌کنند که با نحوه جذب انرژی توسط فوتورزیست هماهنگ است. دمای سطح ویفر در سراسر سطح پختن، در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد ثابت می‌ماند؛ همچنین، تکرارپذیری دما نیز در حد ±۰.۵ درجه سانتی‌گراد از یک سری تولید به سری دیگر است. ساختار کوارتزی و رفلکتورها به گونه‌ای طراحی شده‌اند که تولید ذرات کاهش یابد؛ همچنین، این سیستم برای استفاده در اتاق‌های پاک با کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است. شدت نور تولید شده، در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، ثابت باقی می‌ماند؛ اختلاف شدت نور نیز کمتر از ۵٪ است.</p>