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		<title>Catalyseur on Compact IR Heating Units</title>
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		<description>Recent content in Catalyseur on Compact IR Heating Units</description>
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				<title>Lampe de séchage pour catalyseur de pile à combustible</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://ir-heat-unit.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png&#34; alt=&#34;Lampe de séchage pour catalyseur de pile à combustible&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Sur la ligne de lithographie, un soft bake dont la température dérive d’un demi-degré suffit à décaler la courbe CD et à griller une heure de démarrage de wafers. Nous avons conçu la lampe de séchage du catalyseur de pile à combustible pour éliminer cette variabilité dans le budget thermique. Elle délivre une chaleur sèche rapide dans une bande proche infrarouge (NIR) qui correspond à l’absorption du photoresist, assurant ainsi une élimination répétable des solvants sans dépassement.&lt;/p&gt;</description>
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