Capteur de température pour outil de wafer

Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800

Réduire les émissions de carbone dans les usines de fabrication : pourquoi le chauffage par rayonnement infrarouge fonctionne vraiment
Si vous cherchez à rendre les usines de semi-conducteurs neutres en termes de carbone, il est nécessaire d’arrêter de compter sur ces anciens chauffages résistifs. Ils sont tout simplement trop gourmands en énergie.

Ces derniers temps, nous utilisons plutôt des lampes de chauffage par rayonnement infrarouge pour chauffer les plaques de silicium. La raison est simple : ces lampes chauffent directement le substrat. Ainsi, on ne gaspille pas d’énergie à chauffer toute la chambre juste pour réchauffer la plaque de silicium. C’est une façon bien plus intelligente d’utiliser l’électricité.

Chauffeur de photorésiste à température précise

Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800

Dans les ateliers de lithographie, l’étape de cuisson n’est pas une pause, mais plutôt une limite de tolérance. Le comportement du résist photochimique dépend de la température : même une légère variation de quelques dizaines de degrés peut entraîner des erreurs dans la largeur des lignes tracées, erreurs qui ne seront détectées qu’au cours des tests électriques. Dans les usines de production à grande échelle, cela signifie des pertes et des réparations coûteuses. Nous avons donc conçu un chauffage à température précise pour maintenir la température dans les limites prévues par le processus, à chaque fois.

Température on Compact IR Heating Units

Capteur de température pour outil de wafer

Chauffeur de photorésiste à température précise