http://ir-heat-unit.com/he/tags/%D7%96%D7%A8%D7%96/ Recent content in זרז on Compact IR Heating Units Hugo he Tue, 02 Jun 2026 08:48:35 +0800 http://ir-heat-unit.com/he/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 08:48:35 +0800 http://ir-heat-unit.com/he/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="מנורת ייבוש לקטליזטור תא דלק"></p> <p>בקו הליתוגרפיה, אפייה רכה שמסטה אפילו בחצי מעלה מספיקה לשנות את עקומת ה-CD ולשרוף שעה של התחלת וואפרים. בנינו את מנורת ייבוש קטליזטור תא דלק כדי להסיר את השונות הזו מתקציב החום. היא פועלת במהירות, עם חום יבש באזור תת-אדום קרוב (NIR) שמתאים לספיגת הפוטורזיסט, כך שמתקבלת הסרה חוזרת של הממס ללא חריגה.</p> <p><strong>מה שחשוב, מבחינה טכנית</strong><br> המנורה פועלת בטווח צר של NIR לחימום מהיר ונפחי. משמעות הדבר היא שמשטח הפוטורזיסט והנפח מתחממים יחד — פחות השהיית חום, פחות גרדיאנט. אחידות ברמת הוואפר נשמרת בטווח ±0.1°C לאורך שדה החשיפה, וחזרות הטמפרטורה נותרות מדויקות מחזור אחרי מחזור. הפליטה ממוקמת במתקן קווארץ המיועד לחדרי נקיון Class 1–100, עם אימות אפס פליטת חלקיקים באתר. יציבות הפלט היא מתחת ל-3% סטייה לאורך 5,000 שעות, תואמת ללוחות זמנים של עבודה רציפה 24/7 במפעל.</p>